TEL CELLESTA™ -i MD почистващ препарат за пластини

TEL CELLESTA™ -i MD е водещата 300-милиметрова система за почистване на единични пластини на Tokyo Electron (TEL) за 10nm и по-сложни технологични възли. Тя е специално проектирана за справяне с основни предизвикателства в процеса, като например податливостта на микромоделираните структури на повреди по време на почистване и сушене в сложни процеси, и е ключово устройство, поддържащо подобрен добив за висок клас чипове.

Основна производителност: Разбивка на технологиите и поддръжка на данни

За по-интуитивно разбиране, основните му технически характеристики са обобщени по-долу:

Основни характеристики, показатели за ефективност и технически подробности

Позициониране на процеса, насочено към 10nm и по-напреднали технологични възли, специализирано в безразрушително почистване и отстраняване на частици от шарени повърхности на пластини.

Основни технологии: Почистване и сушене Постига сушене без свиване на шаблона чрез контрол на атмосферата в камерата и оптимизация на производителността на дюзите IPA (изопропилов алкохол); може да използва химически разтвори като SC-1 и DHF за мокро ецване; и може да интегрира функции за физическо почистване, като например четкане и двойно пръскане.

Високоефективна производителност и модулност: Конфигурируема с до 20 почистващи камери, постигаща капацитет до 1000 пластини на час (WPH) и поддържаща гъвкаво разширяване на почистващите агрегати за скосяване.

Нискобюджетна експлоатация: Вградената система за рециклиране на химикали значително намалява оперативните разходи (CoO) и ефективно спестява потреблението на сярна киселина.

Надеждност: Транспортната му система е преминала през 750 милиона цикъла на обработка на пластини с нулева проверка на грешки, което осигурява изключително висока стабилност при масово производство.

Приложения: Благодарение на водещата си технология и стабилната си производителност, CELLESTA™ -i MD се използва широко в производството на съвременни полупроводникови устройства, играейки незаменима роля в следните области:

Логически чипове: Осигурява чисти повърхности на пластините за производството на високопроизводителни логически чипове, като например процесори, графични процесори и процесори с изкуствен интелект.

Чипове памет: Използват се в производството на чипове памет като DRAM и 3D NAND Flash, осигурявайки точността и надеждността на клетките памет.

Усъвършенствано опаковане: Широко използвано в етапите на почистване на усъвършенствани процеси на опаковане, като BSI (с подсветка отзад), 3D подреждане, захранване отзад и SoIC (система върху чип).

Оценка на индустрията и пазарна позиция

Като висок клас модел от серията CELLESTA, -i MD представлява най-високото ниво на TEL в почистването на единични пластини. Със своите превъзходни почистващи характеристики и призната висока надеждност, тази серия платформи, заедно със SCREEN, здраво заема водеща позиция на световния пазар на оборудване за почистване на полупроводници, което я прави незаменима част от оборудването, поддържащо масовото производство на авангардни чипове.