TEL CELLESTA™ -i MD panlinis ng wafer

Ang TEL CELLESTA™ -i MD ay ang pangunahing 300mm single-wafer cleaning system ng Tokyo Electron (TEL) para sa 10nm at mas advanced na process nodes. Ito ay partikular na idinisenyo upang tugunan ang mga pangunahing hamon sa proseso tulad ng pagiging madaling mapinsala ng mga micro-patterned na istruktura habang nililinis at pinatutuyo sa mga advanced na proseso, at isang mahalagang aparato na sumusuporta sa pinahusay na ani para sa mga high-end chips.

Pangunahing Pagganap: Pagsusuri sa Teknolohiya at Suporta sa Datos

Para sa mas madaling maunawaan, ang mga pangunahing teknikal na katangian nito ay nakabuod sa ibaba:

Mga Pangunahing Tampok Mga Tagapagpahiwatig ng Pagganap at Mga Detalye ng Teknikal

Pagpoposisyon ng Proseso Tinatarget ang 10nm at mas advanced na mga process node, na dalubhasa sa hindi mapanirang paglilinis at pag-aalis ng mga particle ng mga patterned wafer surface.

Mga Pangunahing Teknolohiya: Paglilinis at Pagpapatuyo Nakakamit ng pagpapatuyo na walang pagguho ng pattern sa pamamagitan ng chamber atmosphere control at IPA (isopropyl alcohol) nozzle performance optimization; maaaring gumamit ng mga kemikal na solusyon tulad ng SC-1 at DHF para sa wet etching; at maaaring isama ang mga pisikal na function ng paglilinis tulad ng pagsisipilyo at dual-fluid spraying.

Mataas na kahusayan sa output at modularity: Maaaring i-configure na may hanggang 20 cleaning chamber, na nakakamit ng kapasidad na hanggang 1000 wafer kada oras (WPH), at sumusuporta sa flexible na pagpapalawak ng mga bevel cleaning unit.

Mababang gastos sa operasyon: Ang built-in na Chemical Recycle system ay makabuluhang nakakabawas sa mga gastos sa pagpapatakbo (CoO2) at epektibong nakakatipid sa pagkonsumo ng sulfuric acid.

Pagiging Maaasahan: Ang sistema ng transportasyon nito ay sumailalim sa 750 milyong siklo ng paghawak ng wafer na walang beripikasyon ng error, na tinitiyak ang napakataas na katatagan ng mass production.

Mga Aplikasyon: Dahil sa nangungunang teknolohiya at matatag na pagganap nito, ang CELLESTA™ -i MD ay malawakang ginagamit sa produksyon ng mga advanced na semiconductor device, na gumaganap ng napakahalagang papel sa mga sumusunod na larangan:

Mga logic chip: Nagbibigay ng malilinis na wafer surface para sa paggawa ng mga high-performance logic chip tulad ng mga CPU, GPU, at AI processor.

Mga memory chip: Ginagamit sa paggawa ng mga memory chip tulad ng DRAM at 3D NAND Flash, tinitiyak ang katumpakan at pagiging maaasahan ng mga memory cell.

Advanced packaging: Malawakang ginagamit sa mga hakbang sa paglilinis ng mga advanced na proseso ng packaging tulad ng BSI (back-illuminated), 3D stacking, back-powered, at SoIC (system-on-chip).

Pagsusuri ng Industriya at Posisyon sa Pamilihan

Bilang isang high-end na modelo sa seryeng CELLESTA, ang -i MD ay kumakatawan sa pinakamataas na antas ng TEL sa single-wafer cleaning. Dahil sa superior na performance sa paglilinis at kinikilalang mataas na reliability, ang seryeng ito ng mga platform, kasama ang SCREEN, ay matatag na nangunguna sa pandaigdigang merkado ng mga kagamitan sa paglilinis ng semiconductor, na ginagawa itong isang kailangang-kailangan na kagamitan na sumusuporta sa malawakang produksyon ng mga makabagong chips.