EN
id
sk
sr
sv
it
pt
bn
ms
be
nl
fr
th
vi
ru
ja
ko
de
hy
az
bs
bg
my
cs
da
dv
el
et
fil
fi
ga
gl
gn
he
hi
km
hr
hu
is
kn
rw
lo
lv
lt
lb
lg
mi
mt
ne
no
ny
or
om
per
pl
ro
sa
so
es
sw
ta
tr
uk
ur
cy
xh
इदं निट्टो डेन्को इत्यस्य NEL SYSTEMTM DR3000III इत्यस्य विस्तृतपरिचयः अस्ति । इदं पूर्णतया स्वचालितं वेफर-सुरक्षात्मकं टेप-अनुप्रयोग-यन्त्रम् अस्ति यत् अर्धचालक-निर्माणे प्रमुखां भूमिकां निर्वहति ।
कोर विन्यास तथा तकनीकी विनिर्देश
DR3000III इत्यस्य मुख्याः तकनीकीविनिर्देशाः निम्नलिखितरूपेण सन्ति ।
मद विनिर्देश/पैरामीटर
उपकरणस्य प्रकारः : 300mm वेफरस्य कृते पूर्णतया स्वचालितः सुरक्षात्मकः टेप-अनुप्रयोगकः
प्रयोज्य वेफर आकार: 300mm (12 इञ्च) / 200mm (8 इञ्च)
प्रयोज्य वेफर मोटाई: 400μm या मोटी
थ्रूपुट् : ६८ वेफर/घण्टा
टेप अनुप्रयोग प्रौद्योगिकी : एकीकृत तनाव-मुक्त अनुप्रयोग नियन्त्रण तन्त्र
संगतमानकाः: CE चिह्नं तथा SEMI S2/S8 विनिर्देशान् पूरयति
कृपया ध्यानं कुर्वन्तु: उपर्युक्तविनिर्देशाः वेफर, टेप, अन्येषां शर्तानाम् आधारेण परिवर्तनस्य अधीनाः सन्ति, तथा च वैकल्पिकविशेषताः अपि समाविष्टाः भवितुम् अर्हन्ति ।
मुख्यविशेषताः लाभाः च
DR3000III इत्यस्य शक्तिशालिनः विशेषताः परिशुद्धनिर्माणक्षेत्रे अस्य विशिष्टतां जनयन्ति:
तनाव-रहित-अनुप्रयोग-प्रौद्योगिकी : एतत् अस्य मूल-प्रौद्योगिकी-लाभेषु अन्यतमम् अस्ति । लेमिनेशनात् पूर्वं टेप-तनावं न्यूनीकर्तुं पृष्ठ-पार्श्व-पिष्टनानन्तरं वेफर-वार्पेजं प्रभावीरूपेण नियन्त्रयति, यत् बृहत्-आकारस्य, अति-पतले-वेफरस्य निबन्धनार्थं महत्त्वपूर्णम् अस्ति
कम-तनाव-लेमिनेशन-नियन्त्रणम् : उपकरणे न्यून-तनाव-बन्धनं चिपकण-तनाव-नियन्त्रणं च भवति, येन लेमिनेशन-काले वेफर-प्रतिमान-क्षतिः महत्त्वपूर्णतया न्यूनीकरोति
वेफर संगतता: यद्यपि 300mm वेफरस्य कृते डिजाइनं कृतम् अस्ति तथापि 200mm वेफरस्य कृते पश्चात् संगतम् अस्ति तथा च वैकल्पिकविशेषताभिः सह विशेषप्रक्रियाणां समर्थनं करोति यथा तापितचकमेजः (अधिकतमः 100°C) तथा तापितरोलराः (अधिकतमः 60°C) अपि च, एतत् प्रभावीरूपेण बम्प्ड् वेफर्स्, वेफर्स् च निश्चितरूपेण युद्धपृष्ठेन सह सम्पादयति ।
उच्चस्वचालनं बुद्धिः च : उपकरणं निम्नलिखितैः सुसज्जितम् अस्ति :
स्वचालितसामग्रीनियन्त्रणम् : अग्रे-उद्घाटन-वेफर-कैसेट् (FOUP) / खुले-कैसेट्-समर्थनं करोति, यत्र पूर्णतया स्वचालित-भार-अवरोहणयोः कृते अन्तर्निर्मित-रोबोटिक-बाहुः अस्ति
सटीकसंरेखणम् : लेमिनेशनसटीकतां सुनिश्चित्य गैर-संपर्क-सीसीडी-संरेखण-प्रणालीं नियोजयति ।
बुद्धिमान् निरीक्षणम् : आँकडानां अनुसन्धानक्षमतायाः कृते लॉग् सञ्चिकाकार्यं कृत्वा सुसज्जितम्; tape sagging detection इत्यनेन दोषाः निवारिताः भवन्ति । वैकल्पिकः वेफर-मानचित्रण-स्कैनरः स्वचालित-आगमन-सामग्री-निरीक्षणं सक्षमं करोति ।
उच्च-उद्योग-मानकानां अनुरूपम् : उपकरणं SEMI S2/S8 सुरक्षा-पर्यावरण-मानकानां अनुपालनं करोति तथा च आधुनिक-अर्धचालक-कारखान-स्वचालन-प्रणालीषु निर्बाध-एकीकरणाय वैकल्पिक-SECS/GEM-सञ्चार-प्रोटोकॉल-सहितं उपलब्धम् अस्ति
उपयोक्तृ-अनुकूलं संचालनम् : नुस्खा-कार्येन सह संयुक्तः विशालः स्पर्श-पर्दे संचालनं सरलं सहजं च करोति । उपयोक्तृभ्यः केवलं तत्सम्बद्धस्य उत्पादस्य नुस्खं आह्वयितुं आवश्यकं भवति यत् ते स्वयमेव सर्वाणि पैरामीटर् सेटिंग्स् पूर्णं कुर्वन्ति ।
कार्यसिद्धान्तः : पृष्ठपिष्टनप्रक्रियायाः पूर्वं DR3000III तनावमुक्तपद्धत्या वेफरस्य पैटर्न्युक्तपक्षे सुरक्षात्मकपट्टिकां सटीकरूपेण चिपकति यत् तदनन्तरं उच्चगतिपीसने वेफरस्य अग्रभागे यांत्रिकक्षतिं वा रासायनिकदूषणं वा निवारयति।
अनुप्रयोगक्षेत्राणि : DR3000III मुख्यतया निम्नलिखितमुख्यक्षेत्रेषु उपयुज्यते:
अर्धचालकनिर्माणम् : तर्कचिप्स् तथा स्मृतिचिप्स् (DRAM, NAND Flash इत्यादयः): उन्नतप्रक्रियासु वेफरस्य अग्रभागे नाजुकसर्किटसंरचनायाः रक्षणम्। उन्नतपैकेजिंग्: अधिकाधिकं बृहत्तरेषु 300mm वेफर-स्तरीयपैकेजिंगप्रक्रियासु (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, इत्यादिषु) समये वेफरसंरक्षणं प्रदाति।
MEMS तथा संवेदकाः : पृष्ठभागे पतलाकरणप्रक्रियासु सूक्ष्मयान्त्रिकसंरचनानां संवेदकक्षेत्राणां च रक्षणं करोति ।
शक्ति अर्धचालकयन्त्राणि : IGBTs तथा MOSFETs इत्यादीनां शक्तियन्त्राणां कृते वेफरं संसाधयति, ऑन-प्रतिरोधं न्यूनीकरोति तथा च पतलाकरणद्वारा तापविसर्जनं सुधारयति
अन्यैः उपकरणैः सह सहकार्यम् : अर्धचालकपैकेजिंगरेखासु DR3000III सामान्यतया निम्नलिखितसाधनैः सह कार्यं करोति ।
चलचित्र-अनुप्रयोग-उपकरणेन सह सहकार्यम् : पतलाकरण-प्रक्रियायाः पूर्वं पश्चात् च निट्टो NEL-MA3000-III टेप-निष्कासन-उपकरणेन सह मिलित्वा कार्यं करोति । DR3000III प्रथमं पतलाकरणकाले वेफरस्य क्षतितः रक्षणार्थं सुरक्षात्मकपट्टिकां प्रयोजयति; पतलाकरणानन्तरं NEL-MA3000-III सुरक्षात्मकपट्टिकां सटीकरूपेण निष्कासयति, येन सम्पूर्णप्रक्रियायां अतिपतले वेफरस्य अखण्डतां सुरक्षां च सुनिश्चितं भवति
पॉलिशिंग उपकरणैः सह सहकार्यम् : सुरक्षात्मकपदार्थरूपेण पॉलिशिंगयन्त्रैः सह निकटतया कार्यं करोति। DR3000III द्वारा वेफरानाम् सुरक्षात्मकपटलैः लेपितस्य अनन्तरं पृष्ठभागस्य पतलाकरणाय तेषां पीसयन्त्रे प्रविष्टाः भवन्ति, येन पिष्टनप्रक्रियायाः सुरक्षा स्थिरता च विश्वसनीयतया सुनिश्चिता भवति
समग्रतया निट्टो DR3000III अत्यन्तं विशेषं, स्वचालितं, उच्चप्रदर्शनयुक्तं च वेफरसंरक्षणप्रणाली अस्ति । स्वस्य तनाव-रहित-चलच्चित्र-लेमिनेशन-प्रौद्योगिक्याः माध्यमेन, पृष्ठ-पार्श्व-पतला-प्रक्रियायाः समये बृहत्-आकारस्य वेफरैः सह सम्मुखीभूतानां वार्पिंग्-चिपिंग्-इत्यस्य सामान्य-समस्यानां प्रभावीरूपेण समाधानं करोति अर्धचालक-उद्योगे एतत् महत्त्वपूर्णां भूमिकां निर्वहति, उन्नत-चिप्-निर्माणस्य उपजं विश्वसनीयतां च सुनिश्चित्य महत्त्वपूर्ण-उपकरणस्य रूपेण कार्यं करोति उद्धरणार्थं वा तकनीकीपृच्छायाः कृते कृपया चीनदेशे निट्टो इत्यस्य आधिकारिकप्रतिनिधिभिः अथवा अधिकृतवितरकैः प्रत्यक्षतया सम्पर्कं कुर्वन्तु।
