เครื่องติดตั้งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ Nitto DR3000III

นี่คือบทแนะนำโดยละเอียดเกี่ยวกับ NEL SYSTEM™ DR3000III จาก Nitto Denko ซึ่งเป็นเครื่องติดเทปป้องกันแผ่นเวเฟอร์แบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ที่มีบทบาทสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

การกำหนดค่าหลักและข้อกำหนดทางเทคนิค

คุณสมบัติทางเทคนิคหลักของ DR3000III มีดังต่อไปนี้:

ข้อมูลจำเพาะ/พารามิเตอร์ของสินค้า

ประเภทอุปกรณ์: เครื่องติดเทปกาวป้องกันอัตโนมัติเต็มรูปแบบสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม.

ขนาดเวเฟอร์ที่ใช้งานได้: 300 มม. (12 นิ้ว) / 200 มม. (8 นิ้ว)

ความหนาของเวเฟอร์ที่ใช้งานได้: 400 ไมโครเมตรขึ้นไป

อัตราการผลิต: 68 แผ่นเวเฟอร์/ชั่วโมง

เทคโนโลยีการติดเทป: กลไกควบคุมการติดแบบไร้แรงตึงในตัว

มาตรฐานที่รองรับ: เป็นไปตามข้อกำหนด CE และ SEMI S2/S8

โปรดทราบ: ข้อมูลจำเพาะข้างต้นอาจมีการเปลี่ยนแปลงได้ขึ้นอยู่กับแผ่นเวเฟอร์ เทป และเงื่อนไขอื่นๆ และอาจมีคุณสมบัติเสริมเพิ่มเติมด้วย

คุณสมบัติหลักและประโยชน์

คุณสมบัติอันทรงพลังของ DR3000III ทำให้เครื่องนี้โดดเด่นในวงการการผลิตที่ต้องการความแม่นยำสูง:

เทคโนโลยีการใช้งานแบบไร้แรงตึง: นี่คือหนึ่งในข้อได้เปรียบทางเทคโนโลยีหลัก การลดแรงตึงของเทปก่อนการเคลือบช่วยควบคุมการบิดเบี้ยวของเวเฟอร์หลังการเจียรด้านหลังได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการจัดการเวเฟอร์ขนาดใหญ่และบางพิเศษ

การควบคุมการเคลือบด้วยแรงดึงต่ำ: อุปกรณ์นี้มีระบบควบคุมแรงดึงต่ำในการยึดติดและแรงดึงของกาว ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงต่อความเสียหายของลวดลายบนเวเฟอร์ระหว่างการเคลือบได้อย่างมาก

ความเข้ากันได้กับเวเฟอร์: แม้ว่าจะออกแบบมาสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. แต่ก็สามารถใช้งานร่วมกับเวเฟอร์ขนาด 200 มม. ได้ และรองรับกระบวนการพิเศษด้วยคุณสมบัติเสริม เช่น โต๊ะจับยึดแบบให้ความร้อน (สูงสุด 100°C) และลูกกลิ้งให้ความร้อน (สูงสุด 60°C) นอกจากนี้ยังสามารถจัดการกับเวเฟอร์ที่มีรอยนูนและเวเฟอร์ที่มีการบิดเบี้ยวในระดับหนึ่งได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ระบบอัตโนมัติและความอัจฉริยะขั้นสูง: อุปกรณ์นี้ประกอบด้วย:

ระบบขนถ่ายวัสดุอัตโนมัติ: รองรับตลับเวเฟอร์แบบเปิดด้านหน้า (FOUP) / ตลับแบบเปิด พร้อมแขนหุ่นยนต์ในตัวสำหรับการโหลดและขนถ่ายแบบอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์

การจัดแนวที่แม่นยำ: ใช้ระบบจัดแนว CCD แบบไม่สัมผัส เพื่อให้มั่นใจในความแม่นยำของการเคลือบ

การตรวจสอบอัจฉริยะ: มาพร้อมฟังก์ชันบันทึกไฟล์เพื่อตรวจสอบย้อนกลับข้อมูล การตรวจจับการหย่อนตัวของเทปช่วยป้องกันการทำงานผิดพลาด เครื่องสแกนแผนที่เวเฟอร์เสริมช่วยให้สามารถตรวจสอบวัสดุขาเข้าโดยอัตโนมัติ

เป็นไปตามมาตรฐานอุตสาหกรรมระดับสูง: อุปกรณ์นี้เป็นไปตามมาตรฐานความปลอดภัยและสิ่งแวดล้อม SEMI S2/S8 และมีตัวเลือกโปรโตคอลการสื่อสาร SECS/GEM เพื่อการบูรณาการอย่างราบรื่นเข้ากับระบบอัตโนมัติในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย

ใช้งานง่าย: หน้าจอสัมผัสขนาดใหญ่ที่ผสานกับฟังก์ชันสูตรอาหารทำให้การใช้งานง่ายและสะดวกสบาย ผู้ใช้เพียงแค่เรียกดูสูตรอาหารสำหรับผลิตภัณฑ์ที่ต้องการ ระบบก็จะทำการตั้งค่าพารามิเตอร์ทั้งหมดโดยอัตโนมัติ

หลักการทำงาน: ก่อนเริ่มกระบวนการเจียรด้านหลัง เครื่อง DR3000III จะติดเทปกาวป้องกันลงบนด้านที่มีลวดลายของเวเฟอร์อย่างแม่นยำโดยใช้วิธีการที่ไม่ดึงรั้ง เพื่อป้องกันความเสียหายทางกลหรือการปนเปื้อนทางเคมีที่ด้านหน้าของเวเฟอร์ระหว่างการเจียรด้วยความเร็วสูงในขั้นตอนต่อไป

ขอบเขตการใช้งาน: DR3000III ใช้เป็นหลักในด้านสำคัญดังต่อไปนี้:

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ชิปตรรกะและชิปหน่วยความจำ (DRAM, NAND Flash ฯลฯ): การปกป้องโครงสร้างวงจรที่บอบบางบนด้านหน้าของเวเฟอร์ในกระบวนการผลิตขั้นสูง การบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง: ให้การปกป้องเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการบรรจุภัณฑ์ระดับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. ที่มีขนาดใหญ่ขึ้นเรื่อยๆ (Fan-In WLP, Fan-Out WLP ฯลฯ)

MEMS และเซ็นเซอร์: ปกป้องโครงสร้างไมโครกลไกและพื้นที่เซ็นเซอร์ระหว่างกระบวนการลดความหนาด้านหลัง

อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำกำลัง: ดำเนินการแปรรูปเวเฟอร์สำหรับอุปกรณ์กำลัง เช่น IGBT และ MOSFET โดยลดความต้านทานขณะเปิดใช้งานและปรับปรุงการระบายความร้อนผ่านการทำให้บางลง

การทำงานร่วมกับอุปกรณ์อื่นๆ: ในสายการผลิตบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ โดยทั่วไปแล้ว DR3000III จะทำงานร่วมกับอุปกรณ์ต่อไปนี้:

การทำงานร่วมกับอุปกรณ์ติดฟิล์ม: ทำงานร่วมกับอุปกรณ์ลอกเทป Nitto NEL-MA3000-III ก่อนและหลังกระบวนการทำให้บางลง โดย DR3000III จะติดเทปป้องกันก่อนเพื่อปกป้องเวเฟอร์จากความเสียหายระหว่างการทำให้บางลง หลังจากทำให้บางลงแล้ว NEL-MA3000-III จะลอกเทปป้องกันออกอย่างแม่นยำ เพื่อให้มั่นใจถึงความสมบูรณ์และความปลอดภัยของเวเฟอร์บางพิเศษตลอดกระบวนการ

การทำงานร่วมกับเครื่องขัดเงา: ทำงานอย่างใกล้ชิดกับเครื่องขัดเงาเพื่อเป็นขั้นตอนป้องกัน หลังจากที่แผ่นเวเฟอร์ได้รับการเคลือบฟิล์มป้องกันโดยเครื่อง DR3000III แล้ว จะถูกป้อนเข้าสู่เครื่องเจียรเพื่อลดความบางด้านหลัง ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงความปลอดภัยและความเสถียรของกระบวนการเจียร

โดยรวมแล้ว Nitto DR3000III เป็นระบบป้องกันเวเฟอร์อัตโนมัติที่มีความเชี่ยวชาญสูงและมีประสิทธิภาพสูง ด้วยเทคโนโลยีการเคลือบฟิล์มแบบไร้แรงตึง ทำให้สามารถแก้ไขปัญหาการบิดเบี้ยวและการแตกหักที่พบได้ทั่วไปในเวเฟอร์ขนาดใหญ่ระหว่างกระบวนการลดความหนาด้านหลังได้อย่างมีประสิทธิภาพ เครื่องนี้มีบทบาทสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยเป็นอุปกรณ์สำคัญที่ช่วยให้มั่นใจได้ถึงผลผลิตและความน่าเชื่อถือของการผลิตชิปขั้นสูง สำหรับการขอใบเสนอราคาหรือสอบถามข้อมูลทางเทคนิค โปรดติดต่อตัวแทนจำหน่ายอย่างเป็นทางการหรือผู้จัดจำหน่ายที่ได้รับอนุญาตของ Nitto ในประเทศจีนโดยตรง