中古のASM AD830 Plusダイボンダーの販売とサポート

これ中古ASM AD830 Plusダイボンダー本システムは、半導体ダイをウェハからピックアップし、銀エポキシプロセスを用いてリードフレームに接合する、完全自動高速ダイアタッチシステムです。リードフレーム搬送、ウェハ位置決め、ダイ認識、エポキシ塗布、ダイピックアップ、配置、光学検査といった一連の工程を、1つの自動生産プラットフォームに統合しています。

このモデルは、顧客からの問い合わせや機器記録にも次のように表示されることがあります。ASM AD 830 PLUS, AD830PLUS, AD 830 Plus ダイボンダーまたはASMパシフィックテクノロジー AD830プラス機械を購入する前に、機械の銘板と物理的な構成から、正確なモデル、シリアル番号、搭載されているモジュール、および工具を確認する必要があります。

当社は、生産設備の交換、生産能力の拡張、予備機の準備、または中古半導体製造装置プロジェクトのためにASM AD830 Plusをお探しのお客様をサポ​​ートいたします。ご提供可能なユニットは、製造年、ソフトウェア、エポキシモジュール、ウェハローダー、リードフレーム入力システム、ツール、および全体的な状態が異なる場合があります。

ASM AD830 Plus の入手可能性概要

ご注文確定前に、すべての仕様、オプション、および付属アクセサリーを実際の機械と照合してご確認ください。同じ型番の中古機械でも、製造構成が異なる場合があります。

メーカーが中古のASM AD830 Plusを調達する理由

既に同じ機械プラットフォームを運用している生産施設、追加のダイボンディング能力が必要な施設、またはプロセス全体を再設計することなく使用不能な機械を交換したい場合、中古のASM AD830 Plusを検討する価値があるでしょう。

同じ機械ファミリーを使用することで、いくつかの生産要件を簡素化できます。

• 既存のパッケージファイルは、転送または再作成が容易な場合があります。

• オペレーターは既に機械のインターフェースを理解しているかもしれない

• 既存のコレット、エジェクターツール、アンビルは引き続き使用できる可能性があります。

• 保守チームは既に互換性のある部品を在庫している可能性がある

• プロセス開発にかかる時間は、別のプラットフォームに変更するよりも短い場合がある。

• 生産ラインは同様の資材搬送方式を維持する可能性がある

しかし、機種名が既存の装置と一致するという理由だけで装置を選定すべきではありません。ウェハローダー、エポキシモジュール、リードフレーム入力、ソフトウェア、光学系、およびツールの違いは、目的の製品との互換性に影響を与える可能性があります。

AD830 Plusの生産サイクルはどのように機能するのか

AD830 Plusは、リードフレームを受け取り、銀エポキシを塗布し、ウェハからダイをピックアップし、プログラムされたボンディング位置にダイを配置するように設計されています。

リードフレームローディング

未加工のリードフレームは、設置されている機器構成に応じて、マガジン入力エレベーターまたはスタックローディング機構を介してシステムに投入されます。機械は各リードフレームをワークホルダートラックに搬送します。

リードフレーム位置決め

ワークホルダーがリードフレームを機械内を移動させます。位置センサーとパターン認識機能により、リードフレームをエポキシ樹脂塗布ステーションおよび接着ステーションに正確に位置合わせします。

銀エポキシ塗布

接着剤は、金型を配置する前に塗布されます。AD830 Plusは、装置の構成によっては、塗布針またはスタンピングツールを使用して、リードフレームに銀エポキシを塗布します。

ウェハ位置決めとダイ探索

ウェハテーブルは選択されたダイをピックアップエリアに移動させる。ウェハPRシステムはダイの位置を識別し、必要な位置合わせ補正を計算する。

ピックアップトラック

ダイの下からエジェクタピンが上昇し、ダイをウェハテープから分離します。同時に、コレットが真空をかけ、ダイをピックアップします。

金型配置

XYZボンドヘッドアセンブリは、ピックアップされたダイをプログラムされたボンディング位置まで搬送します。ダイは、設定された高さ、力、位置パラメータに基づいて、銀エポキシ樹脂上に配置されます。

債券検査

画像処理システムは、配置前と配置後の検査を実行できます。製造レシピに応じて、リードフレームの位置合わせ、エポキシ樹脂の状態、金型の欠落、金型の位置、金型の回転などをチェックします。

リードフレームの荷降ろし完了

プログラムされた接合位置での作業が完了すると、リードフレームは出力側へ移動され、出力マガジンに装填される。

単一XYZ結合ヘッド構造

AD830 Plusは、X、Y、Z方向への制御された動作が可能な単一のボンディングヘッドアセンブリを採用しています。リニアモーターとリニアエンコーダーにより、ウェーハピックアップ位置とリードフレームボンディング位置間の必要な移動を実現します。

ボンドヘッドアセンブリには、ピックおよびボンディング動作のためのボイスコイルボンドアームも含まれています。ピック力とボンディング力は、製品およびツーリングの設定に応じてプログラムできます。

規定の標準荷重範囲は30～300グラムです。一部の構成では、300グラム～3キログラムのオプション範囲にも対応可能です。

中古機械の場合、以下のボンドヘッドの状態を確認する必要があります。

• すべての軸が正しく元の位置に戻るかどうか

• ボンドヘッドが異常な振動なくスムーズに動くかどうか

• リニアモーターまたはエンコーダーのアラームが存在するかどうか

• ボンドアームが安定したピックアップとボンド高さを維持しているかどうか

• 真空応答が安定しているかどうか

• ケーブルや空気圧ラインに損傷や改造が見られるかどうか

• アセンブリに過去の衝突の痕跡があるかどうか

• ピック力と接着力を一貫して制御できるかどうか

ウェハーテーブル、エジェクター、ダイピックアップシステム

ウェーハモジュールは、ピックアップコレットの下に個々のダイを配置します。ウェーハテーブルはXY方向の移動が可能で、ウェーハの回転を補正するための自動角度補正機能を備えています。

文書に記載されているウェーハの角度補正範囲は±10度です。装置は、ダイピックアップ時にウェーハテーブル、エジェクタピン、コレット、および真空システムを連動させます。

信頼性の高いダイピックアップは、以下の要素の適切なマッチングに依存します。

• 金型の長さと幅

• ダイの厚さ

• ウェハーテープ接着

• ウェハー拡張

• コレット寸法

• エジェクターピンの直径と形状

• エジェクターの高さ

• ピックアップ高さ

• 真空レベル

• 気流検出設定

機械はドライサイクルを正常に完了しても、実際のダイを確実にピックアップできない場合があります。そのため、可能な限り代表的なウェハ材料を用いた生産テストを実施することを推奨します。

金型欠落検出および再ピック機能

標準機能として、気流に基づく金型欠落検出機能と金型再ピックアップ機能が搭載されています。ピックアップ試行後、システムは期待される真空状態または気流状態が維持されているかどうかを確認します。

金型が正常にピックアップされなかった場合、機械はプログラムされた設定に従ってピックアップ操作を繰り返すことができます。

金型欠落アラームが繰り返し発生する一般的な原因は以下のとおりです。

• 汚染または摩耗したコレット

• コレット開口部が正しくありません

• 真空通路の閉塞

• 空気漏れ

• ピックアップの高さが間違っています

• 損傷または不適切なエジェクターピン

• エジェクターの高さが不適切

• ウェハーの膨張不良

• ウェハテープへの高いダイ密着性

• 不適切な気流しきい値

したがって、機械の完全な検査では、センサーの応答と物理的なピックアッププロセスの両方をテストする必要があります。

銀エポキシ塗布またはスタンピング構成

AD830 Plusには、銀エポキシ塗布モジュールまたはスタンピングモジュールが搭載されている場合があります。これらのモジュールはすべての機種で同一ではないため、購入前に実物をご確認ください。

ディスペンシング構成

塗布システムは、注射器と針を使用して、プログラムされた量の銀エポキシ樹脂を接合位置に塗布します。重要な設定項目には、塗布圧力、針の高さ、遅延時間、塗布位置、塗布順序などがあります。

スタンピング構成

スタンピングシステムは、スタンピングツールとの接触によって、エポキシトレイからリードフレームへ銀エポキシを転写します。材料の転写を安定させるには、ツールの寸法、エポキシの液面レベル、スタンピングの高さが適切である必要があります。

デュアルエポキシステーション

一部の構成では、左右にエポキシ樹脂処理ステーションが設けられています。この装置は、モーター制御のステージと、両側の処理位置をプログラム可能な方式で制御します。

注文確定前に、機械に以下のものが含まれているか確認してください。

• 左エポキシステーション

• 右側のエポキシステーション

• ディスペンシングシリンジホルダー

• 注射針の調剤

• スタンピングツール

• エポキシトレイ

• エポキシ光学

• 圧力制御部品

• 校正ツール

• 必要なソフトウェアメニュー

視覚およびパターン認識機能

ASM AD830 Plusは、ウェーハ位置合わせ、ダイ認識、リードフレーム位置決め、エポキシ処理、およびボンディング検査にそれぞれ独立した光学機能を使用します。

文書化されたPRシステムは、480×480ピクセルの画像とプログラム可能なLEDアレイ照明を使用しています。この装置は、処理設定と画像処理設定をパッケージファイルに保存できます。

ウェハーPR

ウェハーPRはダイの位置を識別し、自動ダイ検索をサポートします。ウェハーテーブルと連携して、選択されたダイをピックアップ位置に移動させます。

労働者広報

ワークホルダーのビジョンシステムは、リードフレームの基準特徴を認識します。検出された位置情報は、エポキシ樹脂の塗布や金型の配置前に、ばらつきを補正するために使用できます。

エポキシ光学

左右のエポキシステーションには、専用の光学機能を搭載できます。これらの機能は、エポキシ位置の校正やプロセス設定に役立ちます。

債券発行前検査

接合前検査は、金型配置前に実施されます。配合によっては、接合位置、リードフレームの基準位置、エポキシ樹脂の状態などを確認するために使用されます。

債券発行後の検査

接着後検査は、金型配置後の結果をチェックします。金型の欠落、位置の誤り、異常な回転、エポキシ樹脂の被覆状態、またはエポキシ樹脂のブリッジングを検出するように構成できます。

画像品質、照明の安定性、カメラのフォーカス、認識の再現性は、中古の機器でテストする必要があります。カメラ画像が見えるだけでは、PRシステムが正確または安定しているとは言えません。

リードフレームの取り扱い能力

文書化されているAD830 Plusマテリアルハンドリングシリーズは、以下の寸法のリードフレームをサポートしています。

互換性は外形寸法だけでなく、リードフレームのレイアウト、ボンドパッドの配置、インデックスピッチ、サポートアンビル、ウィンドウクランプ、マガジン設計など、機械の構成にも左右されます。

入力および出力構成

AD830 Plusの機種によっては、材料の投入方法が異なる場合があります。

マガジン入力エレベーター

マガジン入力エレベーターは、未加工のリードフレームが入ったマガジンを受け取ります。プッシャーは、選択されたマガジンスロットからワークホルダートラックへリードフレームを搬送します。

リードフレームスタックローダー

スタックローダーは、積み重ねられた供給元から個々のリードフレームを取り出し、ワークホルダーに搬送します。特定のリードフレーム形式には、専用のスタックローダーを使用する場合があります。

マルチマガジン出力エレベーター

出力エレベーターは完成したリードフレームを受け取り、出力マガジンに装填します。確実な搬送には、マガジンの幅、高さ、スロットピッチ、および装填位置が適切である必要があります。

自動ウェハーローダー

ウェハーの自動装填および排出はオプション機能です。ウェハーローダーを搭載した装置には、ウェハーマガジン、グリッパー、および関連するセットアップポジションが含まれる場合があります。

ソフトウェアにウェハ関連のメニューが含まれているからといって、入手可能なAD830 Plusに自動ウェハローダーが搭載されていると決めつけないでください。物理的なモジュールを確認する必要があります。

標準機能とオプションモジュール

中古のASM AD830 Plusマシンを比較する際には、標準装備とオプション装備の違いを理解することが重要です。

文書化された標準機能

• 単一のXYZ直線運動結合ヘッド

• プログラム可能なピックおよび接着力

• 気流に基づくダイ欠落検出

• 自動金型再ピックアップ機能

• リードフレーム位置検出

• エポキシ位置および接着位置補正

• ウェハーテーブルの自動角度校正

• デュアル入力リードフレーム検出

• マルチマガジン出力エレベーター

• 480 x 480ピクセルのPR画像

• PRプレビューとダイ検索

• プログラム可能なLED照明

選択可能なオプションモジュール

• 銀エポキシ塗布装置

• 銀エポキシスタンピングアセンブリ

• マルチマガジン入力エレベーター

• ウェハーの自動ロードおよびアンロード

• 特殊リードフレームスタックローダー

• セパレーターペーパーの検出

• ウェハー拡張装置

• ウェハマッピング

• バーコード読み取り機能

• 機械通信オプション

• SEC I/IIインターフェース

• 水イオン化装置

見積書には、機器供給に含まれるモジュール、含まれていないモジュール、テストされていないモジュール、または除外されているモジュールを明確に記載する必要があります。

パッケージファイルと本番環境設定

AD830 Plusは、製品およびプロセス設定を保存するためにパッケージファイルを使用します。これらのファイルには、リードフレームデータ、ウェーハデータ、材料搬送位置、塗布設定、ボンディング位置、検査パラメータなどが含まれる場合があります。

新製品のセットアップには、以下のようなことが含まれる場合があります。

1. 既存のパッケージファイルをコピーする

2. リードフレームの寸法を入力します

3. ボンドパッドレイアウトデータを入力

4. ダイとウェーハの寸法を入力してください

5. ワークホルダーのトラック幅を調整する

6. マガジンの装填および取り出し位置の指導

7. コレットとエジェクタツールの交換

8. 正しいアンビルとウィンドウクランプを取り付ける

9. ウェハおよびワークホルダーのビジョンシステムのキャリブレーション

10. エポキシ加工の高さと位置を設定する

11. ピックアップと絆の高さを教える

12. ピックアップと接着力の設定

13. 債券発行前の検査の指導

14. 債券発行後の検査に関する指導

15. テスト債券の実施

16. サンプル品質検証の完了

中古機械には、以前の製造工程で使用されたパッケージファイルが含まれている場合があります。これらのファイルは機械のテストには役立ちますが、新品との互換性を保証するものではありません。

中古AD830 Plus点検チェックリスト

中古機械を購入する前に、外観だけでなくシステム全体を対象とした検査を依頼してください。

機械識別

• 機械モデル

• シリアルナンバー

• 製造年

• 電気定格

• マシン構成

• ソフトウェアバージョン

機械的状態

• ボンドヘッドの動き

• ボイスコイルボンドアームの動き

• ウェハーテーブルの移動

• エジェクターの動き

• 従業員の輸送

• エレベーターの入力および出力動作

• エポキシステージの動き

• 機械カバーと安全インターロック

電気および制御条件

• コンピュータの起動

• マシンソフトウェアの起動

• モーションコントローラー通信

• モーターおよびエンコーダーのアラーム

• センサー応答

• 緊急停止機能

• エラー履歴レビュー

• バックアップの可用性

視覚システムの状態

• カメラの画像品質

• レンズのフォーカス

• 照明制御

• ウェハーPR

• リードフレームPR

• エポキシ位置校正

• 債券発行前の検査

• 債券発行後の検査

生産テスト

• ウェハーのロード

• 死体捜索

• ピックアップトラック

• 欠落ダイ検出

• エポキシ樹脂の塗布またはスタンピング

• ダイ配置

• 債券検査

• リードフレーム転送

• 出力マガジン装填

改修およびサービス範囲

提供可能なASM AD830 Plusのサービス範囲は、機械の状態とお客様のご要望によって異なります。機械は、中古品、清掃済み、機能テスト済み、または合意されたサービス手順後の状態で納品される場合があります。

考えられる業務内容には以下が含まれます。

• 機械洗浄

• 古いエポキシ樹脂の残留物の除去

• 真空チューブの検査

• 空気圧継手の検査

• コレットおよびエジェクタアセンブリの点検

• ボンディングヘッドケーブルの点検

• センサーとインターロックの点検

• 作業者搬送のテスト

• 入力エレベーターと出力エレベーターのテスト

• カメラ画像と照明の確認

• 繰り返し発生するアラームを確認する

• 損傷した部品の一部を交換する

• 利用可能なマシンデータのバックアップ

• 機能テストまたはサンプル生産テストを実行する

見積もりに明記されていない限り、改修工事は想定すべきではありません。完了した作業と交換した部品は記録に残しておく必要があります。

AD830 Plus用工具およびスペアパーツ

機械の適合性は、工具や工程固有の付属品の入手可能性にも左右される。

部品および工具には以下が含まれる場合があります。

• 罠

• コレット本体およびアダプタ

• エジェクターピン

• イジェクターホルダー

• イジェクターキャップ

• 注射針の調剤

• エポキシノズル

• スタンピングツール

• 磁気アンビル

• 窓用クランプ

• リードフレームマガジン

• ウェハーリング

• 真空および空気圧部品

• センサー

• モーターとエンコーダー

• カメラと照明部品

• ケーブルとコネクタ

交換部品を依頼する際は、古い部品のラベル、複数の角度から撮影した写真、コネクタの詳細、取り付け位置、機械のシリアル番号、およびアラーム情報を提供してください。

設置条件

電源を接続する前に、機械の銘板を確認してください。また、工場での設置前に、実際の空気接続部、機械の寸法、および必要なクリアランスも確認する必要があります。

機械のサイズと出荷準備

機械の寸法と重量は、設置される入力構成によって異なります。

輸出梱包を行う前に、可動部品は輸送中の損傷リスクを軽減するためにしっかりと固定する必要があります。カメラなどの精密部品は、別途保護梱包が必要となる場合があります。

推奨される発送準備には以下が含まれます。

• 残った銀エポキシを除去する

• ディスペンシングニードルとエポキシツールの洗浄

• 債券のヘッドを確保する

• ボンドアームを固定する

• ウェハーとワークホルダーステージを固定する

• エジェクターアセンブリの保護

• カメラと光学機器の保護

• 緩んだ付属品を取り外して固定する

• 耐湿性バリア材を使用する

• 十分な乾燥剤を追加する

• 強化された輸出用木箱を使用

お問い合わせにはどのような情報を含めるべきですか？

お客様の用途に合うAD830 Plusが入手可能かどうかを確認するには、以下の情報をご提供ください。

• 必要な機械モデル

• 推奨製造年

• 必要な機械の状態

• 金型の長さ、幅、厚さ

• ウェーハ直径

• ウェハマップの要件

• リードフレームの図面と寸法

• 結合位置の数

• 銀エポキシタイプ

• 調剤または刻印の要件

• 必要な検査機能

• 目標生産能力

• 必要な入力および出力構成

• 工具要件

• 目的地国

• インストールまたはトレーニングの要件

製品図面や代表的なサンプル写真は、機械との互換性をより正確に評価するのに役立ちます。

ASM AD830 Plusの供給および技術サポート

当社は、中古ASM半導体製造装置の独立した供給および技術サポートを提供しています。サービスの提供状況は、装置の種類、プロジェクトの場所、およびご要望の範囲によって異なります。

サポート内容には以下が含まれる場合があります。

• 中古のASM AD830 Plusマシンの調達

• 機械撮影による確認

• 銘板とシリアル番号の確認

• インストール済みモジュールのレビュー

• 機械の状態検査

• 電源投入テスト

• 機能テスト

• サンプル製造テスト

• 工具確認

• 適合するスペアパーツ

• 輸出用梱包

• 国際輸送調整

• インストールサポート

• 遠隔技術コミュニケーション

当社は独立系の機器サプライヤー兼サービスプロバイダーです。供給および技術サービスは、特に明記されていない限り、メーカーの正式な認可を意味するものではありません。

その他のモデルや半導体接合システムについては、こちらをご覧ください。ボンダーマシンカテゴリ。

中古ASM AD830 Plusの見積もりを依頼する

ご希望のASM AD830 Plusの構成、生産用途、金型およびリードフレームの情報、納入先、およびご希望の機械状態をお知らせください。

利用可能な機械を確認し、設置済みのオプションを検討した上で、どの検査、工具、梱包、およびサポートサービスを含めることができるかを確認します。

よくある質問

ASM AD830 Plusはダイボンダーですか？

はい。AD830 Plusは、ウェハーからダイをピックアップし、銀エポキシプロセスを使用してリードフレームに接合するように設計された、全自動高速ダイボンディング装置です。

AD830PLUSはASM AD 830 PLUSと同じ機種ですか？

AD830PLUS、ASM AD830 Plus、ASM AD 830 PLUSは、同じ機種を指す一般的な名称のバリエーションです。機器や部品を確認する際は、必ず機械の銘板とシリアル番号をご確認ください。

中古のASM AD830 Plusマシンは取り扱っていますか？

在庫状況によって入荷状況は変動します。ご希望の機械構成と配送先をお知らせいただければ、在庫状況を確認いたします。

文書化されたサイクルタイムはどれくらいですか？

取扱説明書には、規定条件下における標準サイクルタイムが163ミリ秒と記載されています。実際の生産量は、パッケージ、エポキシ樹脂処理、検査設定、および材料搬送構成によって異なります。

AD830 Plusは、どのようなサイズのダイを加工できますか？

記載されているダイサイズ範囲は6×6～200×200ミルです。実際の互換性は、ダイの厚さ、ウェハテープ、コレット、エジェクタツール、およびプロセス要件によっても異なります。

どのくらいのサイズのウェハーに対応できますか？

文書に記載されているウェハー搬送能力は最大8インチです。ウェハーフレーム、エキスパンダー、およびオプションの自動ローダーは、製造材料との互換性も必要です。

AD830 Plusはすべて自動ウェハローディング機能を搭載していますか？

いいえ。ウェハーの自動ローディングおよびアンローディングはオプションです。ウェハーローダーモジュールおよび関連アクセサリが、使用可能な装置に搭載されていることを確認する必要があります。

すべての機械に、印字と刻印の機能が備わっていますか？

いいえ。銀エポキシ塗布装置またはスタンピング装置は構成に依存します。ご購入前に、搭載されているモジュール、ツール、ソフトウェアをご確認ください。

この機械は金型の配置を検査できますか？

AD830 Plusは、接着前および接着後の検査機能をサポートしています。実際の検査能力は、搭載されている光学系、カメラ、照明、ソフトウェア、および製造レシピによって異なります。

中古機械を購入する前に、どのような点をテストすべきでしょうか？

検査では、機械の起動、軸の動き、ボンドヘッドの動作、ウェーハテーブル、エジェクタ、真空、エポキシモジュール、ビジョン機能、リードフレームの取り扱い、アラーム、および代表的な生産サイクルを網羅する必要があります。

AD830 Plusの工具とスペアパーツを提供していただけますか？

工具や部品は在庫状況に応じて確認いたします。照合のため、旧部品番号、写真、コネクタの詳細、取り付け位置、機械情報をご提供ください。

国際輸送の場合、機械はどのように梱包されますか？

可動モジュールは固定し、精密な光学部品は保護し、機械は防湿材、乾燥剤、強化された輸出用木箱で梱包する必要があります。

中古のASM AD830 Plusはいくらくらいしますか？

価格は、製造年、状態、搭載モジュール、付属工具、テスト範囲、改修作業、梱包、および配送先によって異なります。見積もりは、特定の機械と文書化された供給リストに基づいて作成する必要があります。

お見積もりにはどのような情報が必要ですか？

金型寸法、ウェハサイズ、リードフレーム図面、銀エポキシプロセス、必要な機械構成、目標生産量、および仕向国をご提供ください。