ସ୍କ୍ରିନ୍ ୱାଫର କ୍ଲିନର୍ SU-3200

SCREEN SU-3200 ହେଉଛି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଶିଳ୍ପରେ ଏକ ଐତିହାସିକ 300mm ସିଙ୍ଗଲ୍-ୱେଫର କ୍ଲିନିଂ ସିଷ୍ଟମ। ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଏବଂ ଅଗ୍ରଣୀ ସଫାସୁତୁରା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ, ଏହା ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ SCREEN ର ମୁଖ୍ୟ ମଡେଲ୍ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିଥିଲା, 32nm ରୁ 7nm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଲଜିକ୍ ଏବଂ ମେମୋରୀ ଚିପ୍ସ ଏବଂ ଆହୁରି ଉନ୍ନତ ନୋଡ୍ସ ଉତ୍ପାଦନକୁ ସମର୍ଥନ କରି, ସଫାସୁତୁରା ଉପକରଣ ବଜାରରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥିଲା।

କୋର୍ ପୋଜିସନିଂ ଏବଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସାରାଂଶ: SU-3200ର କୋର୍ ପୋଜିସନିଂ ହେଉଛି ଉନ୍ନତ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକର ଚରମ ଦକ୍ଷତା ଚାହିଦା ପୂରଣ କରି ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ବଜାୟ ରଖିବା ସହିତ ଏକକ-ୱେଫର ସଫା କରିବାର ଥ୍ରୁପୁଟ୍‍କୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କରିବା।

ଉଚ୍ଚ-ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଡିଜାଇନ୍: ଏକ ଅଭିନବ ଚାରି-ସ୍ତର ଷ୍ଟାକ୍ଡ୍ ସ୍ଥାପତ୍ୟ ମାଧ୍ୟମରେ, ଗୋଟିଏ ସିଷ୍ଟମକୁ 12ଟି ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସ୍ୱାଧୀନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ସହିତ ବିନ୍ୟାସ କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଘଣ୍ଟା ପ୍ରତି 800 ୱେଫର୍ (WPH) ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କ୍ଷମତା ହାସଲ କରିବ, ଯାହା ସେତେବେଳେ ସିଙ୍ଗଲ୍-ୱେଫର୍ ସଫା କରିବା ସିଷ୍ଟମ ମଧ୍ୟରେ ବିଶ୍ୱ-ଅଗ୍ରଣୀ ଥିଲା।

ଅଲ୍ଟ୍ରା-କ୍ଲିନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରିବେଶ: 22nm ଏବଂ ଅଧିକ ଉନ୍ନତ ନୋଡ୍‌ଗୁଡ଼ିକର କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ, SU-3200 SCREEN ର ମାଲିକାନା APAC (ଉନ୍ନତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରିବେଶ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ) ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ ସଜ୍ଜିତ। ବହୁବିଧ ଦିଗ ମଧ୍ୟରେ ଚାମ୍ବର ପରିବେଶକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରି, ଏହା ସଫା ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ପରିଷ୍କାରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।

ମୁଖ୍ୟ ବୈଷୟିକ ବିବରଣୀ: ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଏବଂ ପରିଷ୍କାରତାର ଦ୍ୱିଗୁଣିତ ଲକ୍ଷ୍ୟ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ, SU-3200 ନିମ୍ନରେ ଥିବା ସାରଣୀରେ ବିସ୍ତୃତ ଭାବରେ ଅଭିନବ ଡିଜାଇନର ଏକ ଶୃଙ୍ଖଳା ନିଯୁକ୍ତ କରେ:

ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପରିମାଣ | ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ନାମ | ମୂଳ କାର୍ଯ୍ୟ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟାନ୍ୱୟନ ପଦ୍ଧତି

ସଫଳତାର ସହିତ କ୍ଷମତା ଉନ୍ନତି | କମ୍ପାକ୍ଟ ଚାମ୍ବର | ଏକକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରର ଆୟତନକୁ ଏହାର ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ ଚାମ୍ବରର ଅଧାକୁ ହ୍ରାସ କରେ, ସମାନ ସ୍ଥାନ ମଧ୍ୟରେ ଅଧିକ ଚାମ୍ବର ନିୟୋଜିତ କରିବା ସମ୍ଭବ କରିଥାଏ, ଏହାଦ୍ୱାରା ପ୍ରତି ୟୁନିଟ୍ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥାଏ।

ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ ଟ୍ରାନ୍ସଫର ସିଷ୍ଟମ୍ | ଚାମ୍ବରଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ୱାଫରଗୁଡ଼ିକର ଟ୍ରାନ୍ସଫର ଲଜିକ୍ ଏବଂ ଗତିକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରେ, ଯାହା 800 ୱାଫର/ଘଣ୍ଟା (WPH) ର ଉଚ୍ଚ ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ସମର୍ଥନ।

ସ୍ୱଚ୍ଛତା ନିଶ୍ଚିତତା | APAC ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା | ଅଲ୍ଟ୍ରା-କ୍ଲିନ୍ ଚାମ୍ବର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହେଉଛି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାର ଏକ ଶୃଙ୍ଖଳା ପାଇଁ ଏକ ସାମୂହିକ ଶବ୍ଦ। ଏହାର ମୂଳ ଉପ-ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:

AMC ମାଇକ୍ରୋ-ଚାମ୍ବର: ଚାମ୍ବରର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଆୟତନକୁ ଏହାର ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ ଆୟତନର ଏକ ତୃତୀୟାଂଶକୁ ହ୍ରାସ କରିବା, ଦ୍ରୁତ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନକୁ ସକ୍ଷମ କରିବା ଏବଂ ପରିବେଶଗତ ସ୍ୱଚ୍ଛତାକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଉନ୍ନତ କରିବା।

ABG ଏୟାରଫ୍ଲୋ ବାଲାନ୍ସିଂ ବାଫଲ୍: ଉପର ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ପାର୍ଟିକୁଲେଟ୍ ଫିଲ୍ଟର (FFU) ଦ୍ୱାରା ଉଡ଼ିଯାଇଥିବା ସଫା ବାୟୁପ୍ରବାହକୁ ସମାନ କରିବା ପାଇଁ, ଚାମ୍ବର ମଧ୍ୟରେ ଏଡି କିମ୍ବା ମୃତ ଅଞ୍ଚଳକୁ ରୋକିବା ଏବଂ ପାର୍ଟିକୁଲେଟ୍ ପଦାର୍ଥର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଅପସାରଣ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।

ASP ଉନ୍ନତ ସ୍ପ୍ଲାସ୍ ସୁରକ୍ଷା: ସଠିକ୍ ଡିଜାଇନ୍ ମାଧ୍ୟମରେ, ରାସାୟନିକ ସିଞ୍ଚନ ସମୟରେ ରାସାୟନିକ ସ୍ପ୍ଲାସ୍ ହ୍ରାସ କରି, ଏକ ସଫା ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପରିବେଶ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।

APN ବାୟୁ ସୁରକ୍ଷା ନୋଜଲ୍: ଶୁଖିବା ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ଏକ "ବାୟୁ ପରଦା" ବ୍ୟବହାର କରି ୱାଫର ପୃଷ୍ଠକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦେବା ଏବଂ ତରଳ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶ ଯୋଗୁଁ ଜଳ ଦାଗକୁ ରୋକିବା।

ନମନୀୟ ରାସାୟନିକ ଯୋଗାଣ: ରାସାୟନିକ ଉତ୍ସଗୁଡ଼ିକୁ ନମନୀୟ ଭାବରେ ବ୍ୟବସ୍ଥିତ କରାଯାଇପାରିବ। ଡାଇନାମିକ୍ ଡାଇରେକ୍ଟ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ (DDI) ଏବଂ କ୍ୟାବିନେଟ୍-ପ୍ରକାର ସିଷ୍ଟମ ଉଭୟ ଉପଲବ୍ଧ, ଯାହା ଗ୍ରାହକମାନଙ୍କୁ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ ନମନୀୟ ଭାବରେ ବାଛିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।

ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣର ସହଜତା: ପୁଲ୍-ଆଉଟ୍ ଗଠନ: ସହଜ ସଫା କରିବା, ଉପାଦାନ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କାର୍ଯ୍ୟ ପାଇଁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରକୁ ଡ୍ରୟର ପରି ବାହାର କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଉପକରଣ ଡାଉନଟାଇମ୍ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ। ପ୍ରୟୋଗ କ୍ଷେତ୍ର: ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ଗବେଷଣା ଏବଂ ବିକାଶ ଠାରୁ ପରିପକ୍ୱ ଉତ୍ପାଦନ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ।

SU-3200 ର ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ପ୍ରୟୋଗ ଅଛି, ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନର ବହୁବିଧ ପ୍ରମୁଖ ପର୍ଯ୍ୟାୟକୁ କଭର କରେ।

ଉନ୍ନତ ଲଜିକ୍ ଏବଂ ମେମୋରୀ ଚିପ୍ସ: SU-3200 ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଏଣ୍ଡ (FEOL) ଏବଂ ବ୍ୟାକ-ଏଣ୍ଡ (BEOL) ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ 7nm ଏବଂ ଅଧିକ ଉନ୍ନତ ନୋଡ୍ ସମେତ ଚିପ୍ସର ଗବେଷଣା ଏବଂ ବିକାଶ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।

ପ୍ରମୁଖ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା: ଏହା ସମର୍ଥନ କରୁଥିବା ଅନେକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମଧ୍ୟରେ ହେଉଛି ତୃତୀୟ ପିଢ଼ିର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସାମଗ୍ରୀ ଯେପରିକି SiC (ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍) ଏବଂ GaN (ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍) ର ସଫା କରିବା।

ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ଗବେଷଣା ଏବଂ ଇକୋସିଷ୍ଟମ ସହଯୋଗ: SU-3200 ର ଶକ୍ତିଶାଳୀ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏହାକୁ ବିଶ୍ୱବ୍ୟାପୀ ଅଗ୍ରଣୀ ଗବେଷଣା ଏବଂ ବିକାଶ ପ୍ରତିଷ୍ଠାନଗୁଡ଼ିକର ପସନ୍ଦ କରିଥାଏ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, IBM ନ୍ୟୁୟର୍କର ଆଲବାନିରେ ଥିବା ଏହାର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଗବେଷଣା କେନ୍ଦ୍ରରେ SU-3200 କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ କରିଛି। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, SCREEN ଅଧିକ ଉନ୍ନତ ଚିପ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବିକାଶ ପାଇଁ ଏହାର META କେନ୍ଦ୍ରରେ SU-3200 ସ୍ଥାପନ କରି ଆପ୍ଲାଏଡ୍ ମ୍ୟାଟେରିଆଲ୍ସ ସହିତ ସହଭାଗୀ ହୋଇଛି।

ବଜାର ସ୍ଥିତି ଏବଂ ଐତିହାସିକ ଅବଦାନ

SU-3200 କେବଳ ଏକ ସଫଳ ଉତ୍ପାଦ ନୁହେଁ ବରଂ SCREEN ର ବଜାର ନେତୃତ୍ୱ ସ୍ଥିତି ପ୍ରତିଷ୍ଠା କରିବାରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ କାରଣ ମଧ୍ୟ।

ବଜାର ପ୍ରାଧାନ୍ୟ: SU-3200 ର ସଫଳତା ପରେ, SCREEN ସଫା ଉପକରଣ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଏହାର ଅଗ୍ରଣୀ ସ୍ଥିତିକୁ ଆହୁରି ସୁଦୃଢ଼ ​​କରିଛି। ସରକାରୀ SCREEN ତଥ୍ୟ ଅନୁଯାୟୀ, ଜୁଲାଇ 2025 ସୁଦ୍ଧା, ଏହାର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସଫା ଉପକରଣର କ୍ରମାଗତ ପଠାଣ 15,000 ୟୁନିଟ୍ ଅତିକ୍ରମ କରିଛି, ଯାହା ସିଙ୍ଗଲ୍-ୱେଫର ସଫା କରିବା, ବ୍ୟାଚ୍ ସଫା କରିବା ଏବଂ ସ୍ପିନ୍ ସଫା କରିବା ସମେତ ବହୁବିଧ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବିଶ୍ୱ ବଜାର ଅଂଶର ଏକ ନମ୍ବର ରଖିଛି।

ରାଜସ୍ୱ ସ୍ତମ୍ଭ: ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି, SU-3200 SCREENର ଷ୍ଟାର ଉତ୍ପାଦ ଥିଲା, ଏବଂ ଏହାର ସଫା ଉପକରଣ ବ୍ୟବସାୟ ରାଜସ୍ୱ ଏହି ମଡେଲ ଉପରେ ଅତ୍ୟନ୍ତ ନିର୍ଭରଶୀଳ ଥିଲା।