Чистач плочица за екран SU-3200

SCREEN SU-3200 је значајан систем за чишћење појединачних плочица од 300 мм у индустрији производње полупроводника. Са својим врхунским протоком и водећом технологијом чистоће, дуго је служио као главни модел компаније SCREEN, подржавајући производњу логичких и меморијских чипова од 32nm до 7nm, па чак и напреднијих чворова, играјући кључну улогу на тржишту опреме за чишћење.

Преглед основног позиционирања и технологије: Основно позиционирање SU-3200 је значајно повећање протока чишћења појединачних плочица уз одржавање изузетно високе чистоће, испуњавајући екстремне захтеве за ефикасношћу напредних процеса.

Дизајн високог протока: Захваљујући иновативној четворослојној архитектури, један систем може бити конфигурисан са до 12 независних процесних комора, постижући капацитет обраде до 800 плочица на сат (WPH), што је у то време био водећи светски ниво међу системима за чишћење појединачних плочица.

Ултра-чисто процесно окружење: Да би се испунили строги захтеви 22nm и напреднијих чворова, SU-3200 је опремљен SCREEN-овом патентираном APAC (Advanced Process Atmosphere Control) технологијом. Оптимизацијом окружења коморе у више димензија, обезбеђује се врхунска чистоћа процеса чишћења.

Кључни технички детаљи: Да би се постигли двоструки циљеви протока и чистоће, SU-3200 користи низ иновативних дизајна, детаљно описаних у табели испод:

Технолошка димензија | Назив технологије | Основна функција и метод имплементације

Револуционарно побољшање капацитета | Компактна комора | Смањује запремину једне процесне коморе на половину у односу на претходника, омогућавајући распоређивање више комора у истом простору, чиме се повећава проток по јединици површине.

Систем преноса велике брзине | Оптимизује логику преноса и брзину плочица између комора, што је кључна подршка за постизање високог протока од 800 плочица/сат (WPH).

Осигурање чистоће | Азијско-пацифичка технологија | Технологија ултрачистих комора је заједнички термин за низ технологија. Њене основне подтехнологије укључују:

AMC микро-комора: Смањење унутрашње запремине коморе на једну трећину у односу на претходницу, омогућава бржу замену гаса и ефикасно побољшање чистоће животне средине.

ABG преграда за балансирање протока ваздуха: Користи се за уравнотежење протока чистог ваздуха који дува горњи високоефикасни филтер за честице (FFU), спречавајући вртлоге или мртве зоне унутар коморе и обезбеђујући ефикасно уклањање честица.

ASP Напредна заштита од прскања: Прецизним дизајном, минимизирајући прскање хемикалија током хемијског прскања, обезбеђујући чисто окружење за обраду плочица.

АПН млазница за заштиту ваздуха: Коришћење „ваздушне завесе“ током фазе сушења ради заштите површине плочице и спречавања мрља од воде изазваних остацима испаравања течности.

Флексибилно снабдевање хемикалијама: Извори хемикалија могу се флексибилно организовати. Доступни су и системи са динамичким директним убризгавањем (DDI) и системи ормарића, што омогућава купцима да флексибилно бирају према специфичним захтевима процеса.

Једноставност одржавања: Извлачна структура: Процесна комора се може извући попут фиоке ради лаког чишћења, замене компоненти и других радова на одржавању, ефикасно смањујући време застоја опреме. Области примене: Од најсавременијег истраживања и развоја до зреле производње

СУ-3200 има широк спектар примене, покривајући више кључних фаза производње полупроводника.

Напредни логички и меморијски чипови: SU-3200 се користи у истраживању и развоју и производњи чипова, укључујући 7nm и напредније чворове, како у фронт-енд (FEOL), тако и у бек-енд (BEOL) процесима.

Кључни полупроводнички материјали и процеси: Међу многим процесима које подржава је чишћење полупроводничких материјала треће генерације као што су SiC (силицијум карбид) и GaN (галијум нитрид).

Најсавременија истраживања и сарадња екосистема: Моћне перформансе SU-3200 чине га избором водећих институција за истраживање и развој широм света. На пример, IBM је имплементирао SU-3200 у свом истраживачком центру за полупроводнике у Олбанију, Њујорк. Штавише, SCREEN је склопио партнерство са Applied Materials, инсталирајући SU-3200 у свом META центру за развој напреднијих процеса чипова.

Тржишна позиција и историјски доприноси

SU-3200 није само успешан производ, већ и кључни фактор у успостављању водеће позиције компаније SCREEN на тржишту.

Доминација на тржишту: Након успеха SU-3200, компанија SCREEN је додатно учврстила своју водећу позицију у области опреме за чишћење. Према званичним подацима компаније SCREEN, од јула 2025. године, њене кумулативне испоруке опреме за чишћење полупроводника премашиле су 15.000 јединица, држећи водећи глобални тржишни удео у више сегмената, укључујући чишћење појединачних плочица, чишћење серијским поступцима и чишћење центрифугирањем.

Стуб прихода: Дуго времена, SU-3200 је био главни производ компаније SCREEN, а приходи од пословања са опремом за чишћење су у великој мери зависили од овог модела.