ಸ್ಕ್ರೀನ್ ವೇಫರ್ ಕ್ಲೀನರ್ SU-3200

SCREEN SU-3200 ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಒಂದು ಹೆಗ್ಗುರುತಾದ 300mm ಸಿಂಗಲ್-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಅದರ ಉನ್ನತ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಮತ್ತು ಪ್ರಮುಖ ಶುಚಿತ್ವ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದೊಂದಿಗೆ, ಇದು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ SCREEN ನ ಮುಖ್ಯ ಮಾದರಿಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಿತು, 32nm ನಿಂದ 7nm ವರೆಗಿನ ಲಾಜಿಕ್ ಮತ್ತು ಮೆಮೊರಿ ಚಿಪ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಿತು ಮತ್ತು ಇನ್ನೂ ಹೆಚ್ಚು ಸುಧಾರಿತ ನೋಡ್‌ಗಳು, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ.

ಕೋರ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ಮತ್ತು ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅವಲೋಕನ: SU-3200 ನ ಮೂಲ ಸ್ಥಾನೀಕರಣವು ಸಿಂಗಲ್-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಅನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದರ ಜೊತೆಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು, ಮುಂದುವರಿದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ತೀವ್ರ ದಕ್ಷತೆಯ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವುದು.

ಹೈ-ಥ್ರೂಪುಟ್ ವಿನ್ಯಾಸ: ನವೀನ ನಾಲ್ಕು-ಪದರದ ಸ್ಟ್ಯಾಕ್ಡ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್ ಮೂಲಕ, ಒಂದೇ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು 12 ಸ್ವತಂತ್ರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕೋಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಕಾನ್ಫಿಗರ್ ಮಾಡಬಹುದು, ಗಂಟೆಗೆ 800 ವೇಫರ್‌ಗಳ (WPH) ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು, ಇದು ಆ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಿಂಗಲ್-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವ-ಮುಂಚೂಣಿಯಲ್ಲಿತ್ತು.

ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಪ್ರೊಸೆಸ್ ಎನ್ವಿರಾನ್ಮೆಂಟ್: 22nm ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಸುಧಾರಿತ ನೋಡ್‌ಗಳ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು, SU-3200 SCREEN ನ ಸ್ವಾಮ್ಯದ APAC (ಅಡ್ವಾನ್ಸ್ಡ್ ಪ್ರೊಸೆಸ್ ಅಟ್ಮಾಸ್ಫಿಯರ್ ಕಂಟ್ರೋಲ್) ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ. ಬಹು ಆಯಾಮಗಳಲ್ಲಿ ಚೇಂಬರ್ ಪರಿಸರವನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಇದು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಂತಿಮ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಮುಖ ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿವರಗಳು: ಥ್ರೋಪುಟ್ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ದ್ವಿ ಗುರಿಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು, SU-3200 ನವೀನ ವಿನ್ಯಾಸಗಳ ಸರಣಿಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಕೆಳಗಿನ ಕೋಷ್ಟಕದಲ್ಲಿ ವಿವರಿಸಲಾಗಿದೆ:

ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಆಯಾಮ | ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಹೆಸರು | ಮೂಲ ಕಾರ್ಯ ಮತ್ತು ಅನುಷ್ಠಾನ ವಿಧಾನ

ಪ್ರಗತಿಶೀಲ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಸುಧಾರಣೆ | ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್ ಚೇಂಬರ್ | ಒಂದೇ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕೊಠಡಿಯ ಪರಿಮಾಣವನ್ನು ಅದರ ಹಿಂದಿನದಕ್ಕಿಂತ ಅರ್ಧದಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಒಂದೇ ಜಾಗದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕೊಠಡಿಗಳನ್ನು ನಿಯೋಜಿಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಪ್ರತಿ ಯೂನಿಟ್ ಪ್ರದೇಶಕ್ಕೆ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ.

ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಫರ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ | ಚೇಂಬರ್‌ಗಳ ನಡುವಿನ ವೇಫರ್‌ಗಳ ವರ್ಗಾವಣೆ ತರ್ಕ ಮತ್ತು ವೇಗವನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಗಂಟೆಗೆ 800 ವೇಫರ್‌ಗಳು (WPH) ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಸಾಧಿಸಲು ಪ್ರಮುಖ ಬೆಂಬಲವಾಗಿದೆ.

ಸ್ವಚ್ಛತಾ ಭರವಸೆ | APAC ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ | ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಚೇಂಬರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ಸರಣಿಗೆ ಸಾಮೂಹಿಕ ಪದವಾಗಿದೆ. ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಉಪ-ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ಸೇರಿವೆ:

AMC ಮೈಕ್ರೋ-ಚೇಂಬರ್: ಚೇಂಬರ್‌ನ ಆಂತರಿಕ ಪರಿಮಾಣವನ್ನು ಅದರ ಹಿಂದಿನದಕ್ಕಿಂತ ಮೂರನೇ ಒಂದು ಭಾಗಕ್ಕೆ ಇಳಿಸುವುದು, ವೇಗವಾದ ಅನಿಲ ಬದಲಿಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ಸ್ವಚ್ಛತೆಯನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುವುದು.

ABG ಏರ್‌ಫ್ಲೋ ಬ್ಯಾಲೆನ್ಸಿಂಗ್ ಬ್ಯಾಫಲ್: ಉನ್ನತ ಉನ್ನತ-ದಕ್ಷತೆಯ ಕಣ ಫಿಲ್ಟರ್ (FFU) ನಿಂದ ಕೆಳಕ್ಕೆ ಹಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಶುದ್ಧ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಸಮಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಕೋಣೆಯೊಳಗೆ ಸುಳಿಗಳು ಅಥವಾ ಸತ್ತ ವಲಯಗಳನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ASP ಸುಧಾರಿತ ಸ್ಪ್ಲಾಶ್ ರಕ್ಷಣೆ: ನಿಖರವಾದ ವಿನ್ಯಾಸದ ಮೂಲಕ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಸಿಂಪರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಪ್ಲಾಶಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು, ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪರಿಸರವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುವುದು.

APN ವಾಯು ರಕ್ಷಣಾ ನಳಿಕೆ: ಒಣಗಿಸುವ ಹಂತದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ರಕ್ಷಿಸಲು ಮತ್ತು ದ್ರವ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಶೇಷದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ನೀರಿನ ಕಲೆಗಳನ್ನು ತಡೆಯಲು "ಗಾಳಿ ಪರದೆ"ಯನ್ನು ಬಳಸುವುದು.

ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪೂರೈಕೆ: ರಾಸಾಯನಿಕ ಮೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಜೋಡಿಸಬಹುದು. ಡೈನಾಮಿಕ್ ಡೈರೆಕ್ಟ್ ಇಂಜೆಕ್ಷನ್ (DDI) ಮತ್ತು ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್-ಮಾದರಿಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಎರಡೂ ಲಭ್ಯವಿದೆ, ಗ್ರಾಹಕರು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.

ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸುಲಭತೆ: ಪುಲ್-ಔಟ್ ರಚನೆ: ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು, ಘಟಕ ಬದಲಿ ಮತ್ತು ಇತರ ನಿರ್ವಹಣಾ ಕೆಲಸಗಳಿಗಾಗಿ ಡ್ರಾಯರ್‌ನಂತೆ ಹೊರತೆಗೆಯಬಹುದು, ಇದು ಉಪಕರಣಗಳ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಸಮಯವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಅನ್ವಯಿಕ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು: ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಿಂದ ಪ್ರಬುದ್ಧ ಉತ್ಪಾದನೆಯವರೆಗೆ.

SU-3200 ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಬಹು ಪ್ರಮುಖ ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.

ಸುಧಾರಿತ ಲಾಜಿಕ್ ಮತ್ತು ಮೆಮೊರಿ ಚಿಪ್‌ಗಳು: SU-3200 ಅನ್ನು ಫ್ರಂಟ್-ಎಂಡ್ (FEOL) ಮತ್ತು ಬ್ಯಾಕ್-ಎಂಡ್ (BEOL) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ 7nm ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಸುಧಾರಿತ ನೋಡ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ R&D ಮತ್ತು ಚಿಪ್‌ಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಮುಖ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು: ಇದು ಬೆಂಬಲಿಸುವ ಹಲವು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ SiC (ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್) ಮತ್ತು GaN (ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ನೈಟ್ರೈಡ್) ನಂತಹ ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯೂ ಸೇರಿದೆ.

ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಸಹಯೋಗ: SU-3200 ನ ಪ್ರಬಲ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ಅದನ್ನು ವಿಶ್ವಾದ್ಯಂತ ಪ್ರಮುಖ R&D ಸಂಸ್ಥೆಗಳ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, IBM ನ್ಯೂಯಾರ್ಕ್‌ನ ಆಲ್ಬನಿಯಲ್ಲಿರುವ ತನ್ನ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಂಶೋಧನಾ ಕೇಂದ್ರದಲ್ಲಿ SU-3200 ಅನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸಿದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, SCREEN ಅನ್ವಯಿಕ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಪಾಲುದಾರಿಕೆ ಹೊಂದಿದ್ದು, ಹೆಚ್ಚು ಸುಧಾರಿತ ಚಿಪ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು ಅದರ META ಕೇಂದ್ರದಲ್ಲಿ SU-3200 ಅನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಿದೆ.

ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸ್ಥಾನ ಮತ್ತು ಐತಿಹಾಸಿಕ ಕೊಡುಗೆಗಳು

SU-3200 ಕೇವಲ ಯಶಸ್ವಿ ಉತ್ಪನ್ನವಲ್ಲದೆ, SCREEN ನ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ನಾಯಕತ್ವದ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.

ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಪ್ರಾಬಲ್ಯ: SU-3200 ಯಶಸ್ಸಿನ ನಂತರ, SCREEN ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ತನ್ನ ಪ್ರಮುಖ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಗಟ್ಟಿಗೊಳಿಸಿತು. ಅಧಿಕೃತ SCREEN ದತ್ತಾಂಶದ ಪ್ರಕಾರ, ಜುಲೈ 2025 ರ ಹೊತ್ತಿಗೆ, ಅದರ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳ ಸಂಚಿತ ಸಾಗಣೆಗಳು 15,000 ಯೂನಿಟ್‌ಗಳನ್ನು ಮೀರಿದೆ, ಸಿಂಗಲ್-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಬ್ಯಾಚ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸ್ಪಿನ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಬಹು ವಿಭಾಗಗಳಲ್ಲಿ ಜಾಗತಿಕ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಪಾಲನ್ನು ನಂಬರ್ ಒನ್ ಆಗಿ ಹೊಂದಿದೆ.

ಆದಾಯದ ಆಧಾರಸ್ತಂಭ: ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ, SU-3200 SCREEN ನ ಸ್ಟಾರ್ ಉತ್ಪನ್ನವಾಗಿತ್ತು, ಮತ್ತು ಅದರ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಸಲಕರಣೆಗಳ ವ್ಯವಹಾರದ ಆದಾಯವು ಈ ಮಾದರಿಯ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚು ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿತ್ತು.