ஸ்கிரீன் வேஃபர் கிளீனர் SU-3200

ஸ்கிரீன் SU-3200 என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் ஒரு மைல்கல் போன்ற 300mm ஒற்றை-வேஃபர் சுத்திகரிப்பு அமைப்பாகும். அதன் உயர்ந்த செயல்வேகம் மற்றும் முன்னணி சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பத்தின் காரணமாக, இது நீண்ட காலமாக ஸ்கிரீனின் பிரதான மாடலாக விளங்கியது. 32nm முதல் 7nm வரையிலான லாஜிக் மற்றும் மெமரி சிப்கள் மற்றும் அதைவிட மேம்பட்ட நோட்களின் உற்பத்தியை ஆதரித்து, சுத்திகரிப்பு உபகரண சந்தையில் ஒரு முக்கியப் பங்கை இது வகிக்கிறது.

முக்கிய நிலைப்பாடு மற்றும் தொழில்நுட்ப மேலோட்டம்: மேம்பட்ட செயல்முறைகளின் உச்சபட்ச செயல்திறன் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில், மிக உயர்ந்த தூய்மையைப் பராமரித்துக்கொண்டே, ஒற்றை-வேஃபர் சுத்திகரிப்பின் செயல் திறனை கணிசமாக அதிகரிப்பதே SU-3200-இன் முக்கிய நிலைப்பாடாகும்.

அதிக செயல்திறன் வடிவமைப்பு: ஒரு புதுமையான நான்கு-அடுக்கு கட்டமைப்பின் மூலம், ஒரே அமைப்பில் 12 தனித்தனி செயலாக்க அறைகள் வரை உள்ளமைக்க முடியும். இதன்மூலம், ஒரு மணி நேரத்திற்கு 800 வேஃபர்கள் (WPH) வரை செயலாக்கும் திறனை அடைய முடிந்தது. இது அக்காலத்தில், ஒற்றை-வேஃபர் சுத்திகரிப்பு அமைப்புகளில் உலக அளவில் முன்னணியில் இருந்தது.

அதிதூய்மையான செயல்முறைச் சூழல்: 22nm மற்றும் அதற்கும் மேம்பட்ட நோடுகளின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, SU-3200 கருவியானது SCREEN நிறுவனத்தின் தனியுரிம APAC (மேம்பட்ட செயல்முறைச் சூழல் கட்டுப்பாடு) தொழில்நுட்பத்துடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. இது, அறைச் சூழலைப் பல்வேறு பரிமாணங்களில் மேம்படுத்துவதன் மூலம், சுத்தப்படுத்தும் செயல்முறையின் உச்சகட்டத் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

முக்கிய தொழில்நுட்ப விவரங்கள்: செயல்வேகம் மற்றும் தூய்மை ஆகிய இரட்டை இலக்குகளை அடைவதற்காக, SU-3200 ஆனது கீழேயுள்ள அட்டவணையில் விவரிக்கப்பட்டுள்ள தொடர்ச்சியான புதுமையான வடிவமைப்புகளைப் பயன்படுத்துகிறது:

தொழில்நுட்பப் பரிமாணம் | தொழில்நுட்பப் பெயர் | மையச் செயல்பாடு மற்றும் செயல்படுத்தும் முறை

புரட்சிகரமான திறன் மேம்பாடு | கச்சிதமான அறை | ஒரு செயல்முறை அறையின் கன அளவை அதன் முந்தைய அளவின் பாதியாகக் குறைப்பதால், அதே இடத்தில் அதிக அறைகளை நிறுவ முடிகிறது, இதன் மூலம் ஓரலகு பரப்பிற்கான உற்பத்தித் திறனை அதிகரிக்க முடிகிறது.

அதிவேகப் பரிமாற்ற அமைப்பு | அறைகளுக்கு இடையில் வேஃபர்களைப் பரிமாற்றும் செயல்முறையையும் வேகத்தையும் மேம்படுத்துகிறது, இது மணிக்கு 800 வேஃபர்கள் (WPH) என்ற அதிக உற்பத்தித் திறனை அடைவதற்கான ஒரு முக்கிய ஆதரவாகும்.

தூய்மை உறுதிப்பாடு | ஆசிய-பசிபிக் தொழில்நுட்பம் | அதிதூய்மை அறைத் தொழில்நுட்பம் என்பது பல தொழில்நுட்பங்களின் ஒரு கூட்டுச் சொல்லாகும். அதன் முக்கிய துணைத் தொழில்நுட்பங்களில் அடங்குபவை:

ஏஎம்சி மைக்ரோ-சேம்பர்: சேம்பரின் உள் கொள்ளளவை அதன் முந்தைய அமைப்பில் மூன்றில் ஒரு பங்காகக் குறைத்து, வாயுவை விரைவாக மாற்றுவதோடு, சுற்றுச்சூழல் தூய்மையையும் திறம்பட மேம்படுத்துகிறது.

ABG காற்றோட்டச் சமநிலைப்படுத்தும் தடுப்பான்: இது, மேற்புறத்தில் உள்ள உயர் செயல்திறன் துகள் வடிகட்டியால் (FFU) செலுத்தப்படும் சுத்தமான காற்றோட்டத்தைச் சீராக்கப் பயன்படுகிறது. இதன்மூலம், அறைக்குள் சுழல்கள் அல்லது காற்றோட்டமற்ற பகுதிகள் உருவாவது தடுக்கப்படுகிறது, மேலும் நுண்துகள்கள் திறம்பட அகற்றப்படுவதும் உறுதி செய்யப்படுகிறது.

ASP மேம்பட்ட தெறிப்புப் பாதுகாப்பு: துல்லியமான வடிவமைப்பின் மூலம், இரசாயனத் தெளிப்பின் போது இரசாயனத் தெறிப்பைக் குறைத்து, தூய்மையான வேஃபர் செயலாக்கச் சூழலை உறுதி செய்கிறது.

APN காற்றுப் பாதுகாப்பு முனை: உலர்த்தும் கட்டத்தின் போது "காற்றுத் திரையைப்" பயன்படுத்துவதன் மூலம் வேஃபர் மேற்பரப்பைப் பாதுகாக்கவும், திரவ ஆவியாதல் எச்சத்தால் ஏற்படும் நீர் கறைகளைத் தடுக்கவும் செய்கிறது.

நெகிழ்வான இரசாயன வழங்கல்: இரசாயன மூலங்களை நெகிழ்வாக ஏற்பாடு செய்யலாம். டைனமிக் டைரக்ட் இன்ஜெக்ஷன் (DDI) மற்றும் கேபினட் வகை அமைப்புகள் ஆகிய இரண்டுமே கிடைக்கின்றன, இது வாடிக்கையாளர்கள் குறிப்பிட்ட செயல்முறைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப நெகிழ்வாகத் தேர்வுசெய்ய அனுமதிக்கிறது.

பராமரிப்பு எளிமை: வெளியே இழுக்கக்கூடிய அமைப்பு: செயல்முறை அறையை ஒரு இழுப்பறை போல வெளியே இழுப்பதன் மூலம் எளிதாக சுத்தம் செய்யவும், பாகங்களை மாற்றவும் மற்றும் பிற பராமரிப்புப் பணிகளைச் செய்யவும் முடியும். இது உபகரணங்களின் செயலிழப்பு நேரத்தை திறம்பட குறைக்கிறது. பயன்பாட்டுத் துறைகள்: அதிநவீன ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிலிருந்து முதிர்ந்த உற்பத்தி வரை.

SU-3200 ஆனது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் பல முக்கிய நிலைகளை உள்ளடக்கிய, பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது.

மேம்பட்ட லாஜிக் மற்றும் மெமரி சில்லுகள்: SU-3200 ஆனது, ஃப்ரண்ட்-எண்ட் (FEOL) மற்றும் பேக்-எண்ட் (BEOL) ஆகிய இரண்டு செயல்முறைகளிலும், 7nm மற்றும் அதற்கும் மேம்பட்ட நோடுகள் உள்ளிட்ட சில்லுகளின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு (R&D) மற்றும் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

முக்கிய குறைக்கடத்திப் பொருட்கள் மற்றும் செயல்முறைகள்: இது ஆதரிக்கும் பல செயல்முறைகளில், SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) மற்றும் GaN (காலியம் நைட்ரைடு) போன்ற மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திப் பொருட்களைச் சுத்தப்படுத்துவதும் அடங்கும்.

முன்னோடி ஆராய்ச்சி மற்றும் சூழல் மண்டல ஒத்துழைப்பு: SU-3200-இன் சக்திவாய்ந்த செயல்திறன், உலகெங்கிலும் உள்ள முன்னணி ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு நிறுவனங்களின் தேர்வாக இதை ஆக்குகிறது. உதாரணமாக, IBM நிறுவனம் நியூயார்க்கின் அல்பானியில் உள்ள தனது குறைக்கடத்தி ஆராய்ச்சி மையத்தில் SU-3200-ஐ நிறுவியுள்ளது. மேலும், SCREEN நிறுவனம் அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ் நிறுவனத்துடன் கூட்டு சேர்ந்து, மிகவும் மேம்பட்ட சிப் செயல்முறைகளை உருவாக்குவதற்காக தனது META மையத்தில் SU-3200-ஐ நிறுவியுள்ளது.

சந்தை நிலை மற்றும் வரலாற்றுப் பங்களிப்புகள்

SU-3200 ஒரு வெற்றிகரமான தயாரிப்பு மட்டுமல்ல, SCREEN நிறுவனத்தின் சந்தைத் தலைமை நிலையை நிறுவுவதில் ஒரு முக்கிய காரணியாகவும் விளங்குகிறது.

சந்தை ஆதிக்கம்: SU-3200-இன் வெற்றியைத் தொடர்ந்து, SCREEN நிறுவனம் சுத்திகரிப்பு உபகரணங்கள் துறையில் தனது முன்னணி நிலையை மேலும் வலுப்படுத்தியது. SCREEN-இன் அதிகாரப்பூர்வ தரவுகளின்படி, ஜூலை 2025 நிலவரப்படி, அதன் குறைக்கடத்தி சுத்திகரிப்பு உபகரணங்களின் ஒட்டுமொத்த ஏற்றுமதி 15,000 அலகுகளைத் தாண்டியது. மேலும், ஒற்றை-வேஃபர் சுத்திகரிப்பு, தொகுதி சுத்திகரிப்பு மற்றும் சுழற்சி சுத்திகரிப்பு உள்ளிட்ட பல பிரிவுகளில் உலகளாவிய சந்தைப் பங்கில் முதலிடத்தைப் பிடித்துள்ளது.

வருவாய் தூண்: நீண்ட காலமாக, SU-3200 தான் SCREEN நிறுவனத்தின் நட்சத்திரத் தயாரிப்பாக இருந்தது, மேலும் அதன் துப்புரவு உபகரண வணிக வருவாய் இந்த மாடலை பெரிதும் சார்ந்திருந்தது.