پاک کننده ویفر صفحه نمایش SU-3200

SCREEN SU-3200 یک سیستم تمیزکننده تک ویفر 300 میلی‌متری برجسته در صنعت تولید نیمه‌هادی است. با توان عملیاتی برتر و فناوری تمیزکننده پیشرو، این سیستم برای مدت طولانی به عنوان مدل اصلی SCREEN خدمت کرده و از تولید تراشه‌های منطقی و حافظه از 32 نانومتر تا 7 نانومتر و حتی گره‌های پیشرفته‌تر پشتیبانی می‌کند و نقش مهمی در بازار تجهیزات تمیزکننده ایفا می‌کند.

بررسی اجمالی موقعیت‌یابی و فناوری اصلی: موقعیت‌یابی اصلی SU-3200 افزایش قابل توجه توان عملیاتی تمیز کردن تک ویفر در عین حفظ تمیزی بسیار بالا و برآورده کردن نیازهای بهره‌وری شدید فرآیندهای پیشرفته است.

طراحی با توان عملیاتی بالا: از طریق یک معماری نوآورانه چهار لایه، یک سیستم واحد می‌تواند با حداکثر ۱۲ محفظه فرآیند مستقل پیکربندی شود و به ظرفیت پردازش حداکثر ۸۰۰ ویفر در ساعت (WPH) دست یابد، که در آن زمان در بین سیستم‌های تمیزکننده تک ویفر در جهان پیشرو بود.

محیط فرآیند فوق العاده تمیز: برای برآورده کردن الزامات سختگیرانه گره‌های ۲۲ نانومتری و پیشرفته‌تر، SU-3200 به فناوری اختصاصی APAC (کنترل اتمسفر فرآیند پیشرفته) شرکت SCREEN مجهز شده است. با بهینه سازی محیط محفظه در ابعاد مختلف، تمیزی نهایی فرآیند تمیزکاری را تضمین می‌کند.

جزئیات فنی کلیدی: برای دستیابی به اهداف دوگانه‌ی توان عملیاتی و تمیزی، SU-3200 از مجموعه‌ای از طرح‌های نوآورانه بهره می‌برد که در جدول زیر به تفصیل شرح داده شده‌اند:

بُعد فناوری | نام فناوری | عملکرد اصلی و روش پیاده‌سازی

بهبود چشمگیر ظرفیت | محفظه فشرده | حجم یک محفظه فرآیند واحد را به نصف حجم مدل قبلی کاهش می‌دهد و امکان استقرار محفظه‌های بیشتر را در همان فضا فراهم می‌کند و در نتیجه توان عملیاتی در واحد سطح را افزایش می‌دهد.

سیستم انتقال پرسرعت | منطق انتقال و سرعت ویفرها بین محفظه‌ها را بهینه می‌کند، که پشتیبانی کلیدی برای دستیابی به توان عملیاتی بالای ۸۰۰ ویفر در ساعت (WPH) است.

تضمین پاکیزگی | فناوری APAC | فناوری محفظه فوق تمیز یک اصطلاح جمعی برای مجموعه‌ای از فناوری‌ها است. زیرمجموعه‌های اصلی آن عبارتند از:

میکرو محفظه AMC: کاهش حجم داخلی محفظه به یک سوم مدل قبلی، امکان تعویض سریع‌تر گاز و بهبود مؤثر پاکیزگی محیطی.

بافل متعادل‌کننده جریان هوای ABG: برای یکنواخت کردن جریان هوای تمیز دمیده شده توسط فیلتر ذرات با راندمان بالا (FFU) در بالا، جلوگیری از ایجاد گرداب یا مناطق مرده در داخل محفظه و اطمینان از حذف مؤثر ذرات معلق استفاده می‌شود.

محافظت پیشرفته در برابر پاشش مواد شیمیایی ASP: از طریق طراحی دقیق، پاشش مواد شیمیایی را در حین پاشش به حداقل می‌رساند و محیط پردازش ویفر تمیز را تضمین می‌کند.

نازل محافظ هوای APN: استفاده از یک "پرده هوا" در مرحله خشک کردن برای محافظت از سطح ویفر و جلوگیری از لکه‌های آب ناشی از بقایای تبخیر مایع.

تامین مواد شیمیایی انعطاف‌پذیر: منابع شیمیایی را می‌توان به صورت انعطاف‌پذیری تنظیم کرد. سیستم‌های تزریق مستقیم دینامیک (DDI) و کابینتی هر دو در دسترس هستند و به مشتریان این امکان را می‌دهند که با توجه به نیازهای خاص فرآیند، به صورت انعطاف‌پذیر انتخاب کنند.

سهولت نگهداری: ساختار بیرون کشیدنی: محفظه فرآیند را می‌توان مانند یک کشو بیرون کشید تا تمیز کردن، تعویض قطعات و سایر کارهای تعمیر و نگهداری آسان شود و به طور موثر زمان از کار افتادگی تجهیزات را کاهش دهد. زمینه‌های کاربرد: از تحقیق و توسعه پیشرفته تا تولید بالغ

SU-3200 طیف گسترده‌ای از کاربردها را دارد و چندین مرحله کلیدی از تولید نیمه‌هادی‌ها را پوشش می‌دهد.

تراشه‌های منطقی و حافظه پیشرفته: SU-3200 در تحقیق و توسعه و تولید تراشه‌ها، از جمله گره‌های 7 نانومتری و پیشرفته‌تر، در هر دو فرآیند front-end (FEOL) و back-end (BEOL) استفاده می‌شود.

مواد و فرآیندهای کلیدی نیمه‌هادی: در میان فرآیندهای متعددی که پشتیبانی می‌کند، تمیز کردن مواد نیمه‌هادی نسل سوم مانند SiC (کاربید سیلیکون) و GaN (نیترید گالیم) نیز وجود دارد.

همکاری در تحقیقات و اکوسیستم‌های پیشرفته: عملکرد قدرتمند SU-3200، آن را به انتخاب موسسات پیشرو در تحقیق و توسعه در سراسر جهان تبدیل کرده است. به عنوان مثال، IBM SU-3200 را در مرکز تحقیقات نیمه‌هادی خود در آلبانی، نیویورک پیاده‌سازی کرده است. علاوه بر این، SCREEN با Applied Materials همکاری کرده و SU-3200 را در مرکز META خود برای توسعه فرآیندهای تراشه پیشرفته‌تر نصب کرده است.

موقعیت بازار و مشارکت‌های تاریخی

SU-3200 نه تنها یک محصول موفق است، بلکه عامل کلیدی در تثبیت جایگاه رهبری بازار SCREEN نیز می‌باشد.

تسلط بر بازار: پس از موفقیت SU-3200، شرکت SCREEN جایگاه پیشرو خود را در زمینه تجهیزات تمیزکننده بیش از پیش تثبیت کرد. طبق داده‌های رسمی SCREEN، تا ژوئیه 2025، مجموع محموله‌های تجهیزات تمیزکننده نیمه‌هادی این شرکت از 15000 واحد فراتر رفته و سهم بازار جهانی شماره یک را در بخش‌های مختلف از جمله تمیزکننده تک ویفر، تمیزکننده دسته‌ای و تمیزکننده چرخشی در اختیار دارد.

ستون درآمد: برای مدت طولانی، SU-3200 محصول ستاره SCREEN بود و درآمد کسب و کار تجهیزات نظافت آن به شدت به این مدل وابسته بود.