Čistič doštičiek SCREEN SU-3200

SCREEN SU-3200 je prelomový systém na čistenie jednotlivých 300 mm doštičiek v priemysle výroby polovodičov. Vďaka vynikajúcej priepustnosti a špičkovej technológii čistoty slúžil dlho ako hlavný model spoločnosti SCREEN a podporoval výrobu logických a pamäťových čipov od 32nm do 7nm a ešte pokročilejších uzlov, čím zohrával kľúčovú úlohu na trhu s čistiacimi zariadeniami.

Prehľad kľúčových pozícií a technológií: Hlavným cieľom zariadenia SU-3200 je výrazne zvýšiť priepustnosť čistenia jednotlivých doštičiek pri zachovaní extrémne vysokej čistoty, čím sa spĺňajú extrémne požiadavky na účinnosť pokročilých procesov.

Vysokokapacitný dizajn: Vďaka inovatívnej štvorvrstvovej skladanej architektúre je možné jeden systém konfigurovať až s 12 nezávislými procesnými komorami, čím sa dosiahne spracovateľská kapacita až 800 doštičiek za hodinu (WPH), čo bolo v tom čase svetové prvenstvo medzi systémami čistenia jednotlivých doštičiek.

Ultračisté procesné prostredie: Aby spĺňal prísne požiadavky 22nm a pokročilejších uzlov, je SU-3200 vybavený patentovanou technológiou APAC (Advanced Process Atmosphere Control) od spoločnosti SCREEN. Optimalizáciou prostredia komory vo viacerých rozmeroch zaisťuje maximálnu čistotu čistiaceho procesu.

Kľúčové technické detaily: Na dosiahnutie dvojitého cieľa priepustnosti a čistoty využíva SU-3200 sériu inovatívnych dizajnov, ktoré sú podrobne uvedené v tabuľke nižšie:

Technologický rozmer | Názov technológie | Základná funkcia a metóda implementácie

Prelomové zlepšenie kapacity | Kompaktná komora | Znižuje objem jednej procesnej komory na polovicu oproti jej predchodcovi, čo umožňuje nasadiť viac komôr v rovnakom priestore, čím sa zvyšuje priepustnosť na jednotku plochy.

Systém vysokorýchlostného prenosu | Optimalizuje logiku prenosu a rýchlosť doštičiek medzi komorami, čo je kľúčová podpora pre dosiahnutie vysokej priepustnosti 800 doštičiek/hodinu (WPH).

Zabezpečenie čistoty | Technológia ázijsko-pacifického regiónu | Technológia ultračistých komôr je súhrnný pojem pre sériu technológií. Medzi jej základné podtechnológie patria:

Mikrokomora AMC: Zníženie vnútorného objemu komory na jednu tretinu oproti predchodcovi, čo umožňuje rýchlejšiu výmenu plynu a efektívne zlepšuje čistotu životného prostredia.

Vyrovnávacia clona prúdenia vzduchu ABG: Používa sa na vyrovnanie prúdenia čistého vzduchu fúkaného horným vysokoúčinným filtrom pevných častíc (FFU), čím sa zabraňuje vírom alebo mŕtvym zónam v komore a zabezpečuje sa účinné odstraňovanie pevných častíc.

Pokročilá ochrana proti striekajúcej vode ASP: Vďaka presnému dizajnu minimalizuje striekanie chemikálií počas chemického striekania a zaisťuje čisté prostredie pre spracovanie doštičiek.

Tryska na ochranu vzduchu APN: Využitie „vzduchovej clony“ počas fázy sušenia na ochranu povrchu doštičky a zabránenie vodným škvrnám spôsobeným zvyškami odparovania kvapaliny.

Flexibilné zásobovanie chemikáliami: Zdroje chemikálií je možné flexibilne usporiadať. K dispozícii sú systémy dynamického priameho vstrekovania (DDI) aj skriňové systémy, čo zákazníkom umožňuje flexibilný výber podľa špecifických požiadaviek procesu.

Jednoduchá údržba: Výsuvná konštrukcia: Procesnú komoru je možné vytiahnuť ako zásuvku pre jednoduché čistenie, výmenu komponentov a ďalšie údržbárske práce, čím sa efektívne skracujú prestoje zariadení. Oblasti použitia: Od špičkového výskumu a vývoja až po zrelú výrobu

SU-3200 má širokú škálu aplikácií a pokrýva viacero kľúčových fáz výroby polovodičov.

Pokročilé logické a pamäťové čipy: SU-3200 sa používa vo výskume, vývoji a výrobe čipov vrátane 7nm a pokročilejších uzlov, a to v procesoch front-end (FEOL) aj back-end (BEOL).

Kľúčové polovodičové materiály a procesy: Medzi mnohými procesmi, ktoré podporuje, je čistenie polovodičových materiálov tretej generácie, ako sú SiC (karbid kremíka) a GaN (nitrid gália).

Špičkový výskum a spolupráca v oblasti ekosystémov: Vďaka vysokému výkonu je zariadenie SU-3200 voľbou popredných výskumných a vývojových inštitúcií na celom svete. Napríklad spoločnosť IBM implementovala zariadenie SU-3200 vo svojom výskumnom centre polovodičov v Albany v štáte New York. Spoločnosť SCREEN okrem toho nadviazala partnerstvo so spoločnosťou Applied Materials a nainštalovala zariadenie SU-3200 vo svojom centre META na vývoj pokročilejších procesov výroby čipov.

Pozícia na trhu a historické príspevky

SU-3200 nie je len úspešný produkt, ale aj kľúčový faktor pri budovaní vedúcej pozície spoločnosti SCREEN na trhu.

Dominantné postavenie na trhu: Po úspechu zariadenia SU-3200 si spoločnosť SCREEN ďalej upevnila svoju vedúcu pozíciu v oblasti čistiacich zariadení. Podľa oficiálnych údajov spoločnosti SCREEN k júlu 2025 jej kumulatívne dodávky zariadení na čistenie polovodičov prekročili 15 000 kusov, čím si udržala vedúci podiel na svetovom trhu vo viacerých segmentoch vrátane čistenia jednotlivých doštičiek, dávkového čistenia a odstreďovania.

Pilier príjmov: SU-3200 bol dlho hviezdnym produktom spoločnosti SCREEN a príjmy z predaja čistiacich zariadení boli od tohto modelu vysoko závislé.