SEMES վաֆլի մաքրող միջոց BLUEICE PRIME

SEMES-ի BLUEICE PRIME-ը 300 մմ-անոց լիովին ավտոմատացված մեկ թիթեղյա մաքրման համակարգ է, որը նախատեսված է առաջադեմ գործընթացային տեխնոլոգիաների (LPT) տրամաբանության և հիշողության չիպերի արտադրության համար: Մշակվել և արտադրվել է SEMES-ի կողմից, որը Samsung Electronics-ի հիմնական սարքավորումների մատակարարն է, այն հիմնական սարքավորում է առաջատար գործընթացների, ինչպիսին է 2 նմ-ը, զանգվածային արտադրության արտադրողականությունը բարելավելու համար:

Հիմնական կատարողականություն. առաջադեմ գործընթացների և հզորությունների հավասարակշռում

Գերազանց գործընթացային կատարողականություն. Կարող է հեռացնել մասնիկները 19 նմ մակարդակում, զգալիորեն բարելավելով փորագրման միատարրությունը ավելի քան 40%-ով։

Բարձր արդյունավետության հզորության նախագծում. Որպես 300 մմ մեկ վաֆլի մաքրման համակարգ, այն մշակում է ժամում ավելի քան 500 վաֆլի (WPH), արդյունավետորեն բավարարելով մեծածավալ զանգվածային արտադրության պահանջները։

Տեխնիկական առանձնահատկություններ՝ բազմակի անկախ մշակված նորարարական դիզայններ

Նորարարական բարձր ջերմաստիճանի ֆոսֆորական թթվի գործընթաց. Դրա հիմնական գործընթացն օգտագործում է բարձր ջերմաստիճանի ֆոսֆորական թթու՝ վաֆլիների փորագրման և շերտազատման համար: Ցողման և ջերմաստիճանի ճշգրիտ կառավարումը արդյունավետորեն նվազեցնում է գործընթացի ցրման և արատների հաճախականությունը, զգալիորեն բարելավելով 2 նմ չիպերի արտադրողականությունը:

**Անկախ մշակված բարձր ջերմաստիճանի ամրակ**: Այս տեխնոլոգիան բարելավում է ջերմաստիճանի միատարրությունը վաֆլիների տաքացման ընթացքում, զգալիորեն նվազեցնում է գործընթացի թերությունները և հաղթահարում ավանդական թաց մաքրման մեթոդների սահմանափակումները:

**Աղտոտման համապարփակ վերահսկողություն.** NIC (առանց փոխազդեցության մաքրում) խցիկը արդյունավետորեն կանխում է խաչաձև աղտոտումը՝ զուգորդված ֆիզիկական մաքրման SF-Aerosol (բարձր արագությամբ/միատարր կաթիլային) տեխնոլոգիայի հետ։

**Բարձր ինտեգրված ինտելեկտուալ համակարգ**: Հագեցած APAC, AIS (ավտոմատ հայտնաբերման համակարգ) և SEAS (խելացի սարքավորումների վերլուծության համակարգ) համակարգերով, այն ապահովում է հոսքի ճշգրիտ կառավարում և սարքավորումների վիճակի ինտելեկտուալ վերլուծություն:

**Կիրառման ոլորտներ՝** Գործում է Samsung-ում, սպասարկում է աշխարհի առաջատար հաճախորդներին։

BLUEICE PRIME-ը հիմնականում ուղղված է աշխարհի առաջատար լոգիկական չիպերի ձուլարաններին և հիշողության արտադրողներին: Օգտագործելով իր մայր ընկերության՝ SEMES-ի՝ որպես Samsung Group-ի դուստր ձեռնարկության կարգավիճակը, այս սարքավորումները խորապես ինտեգրված են Samsung-ի ամենաառաջադեմ վաֆլիների արտադրության գծերում: Դրա խոնավ մաքրման լուծումը կազմում է ամբողջական էկոհամակարգ այլ հիմնական առաջնային սարքավորումների հետ, ինչպիսիք են լիտոգրաֆիան (OMEGA շարք) և փորագրությունը (MICHELAN շարք): Հարկ է նշել, որ SEMES-ը ընդլայնել է իր գործունեության շրջանակը՝ ներառելով HBM (բարձր թողունակության հիշողություն) արտադրության ամբողջ ոլորտը՝ հաջողությամբ մշակելով և զանգվածային արտադրությամբ արտադրելով ջերմային կապող մեքենա (TC Bonder) HBM չիպերի կուտակման համար:

Ամփոփելով՝ BLUEICE PRIME-ը ցուցադրում է SEMES-ի խորը տեխնոլոգիական ուժը կիսահաղորդչային սարքավորումների ոլորտում։ Այն Samsung Group-ի ջանքերի կարևոր մասն է՝ ամրապնդելու իր դիրքը որպես առաջադեմ գործընթացային տեխնոլոգիաների համաշխարհային առաջատար և 2 նմ-ից ցածր առաջադեմ արտադրությանը աջակցող հիմնական գործիք։