Čistič oplatek SEMES BLUEICE PRIME

SEMES' BLUEICE PRIME je plně automatizovaný systém čištění jednotlivých destiček o průměru 300 mm určený pro výrobu logiky a paměťových čipů s využitím pokročilých procesních technologií (LPT). Vyvinutý a vyrobený společností SEMES, klíčovým dodavatelem zařízení pod značkou Samsung Electronics, je klíčovým zařízením pro zvýšení výtěžnosti hromadné výroby u špičkových procesů, jako je 2nm.

Klíčový výkon: Vyvažování pokročilých procesů a kapacity

Vynikající výkon procesu: Schopný odstraňovat částice na úrovni 19 nm, což výrazně zlepšuje rovnoměrnost leptání o více než 40 %.

Vysoce účinná konstrukce s kapacitou: Systém čištění jednotlivých destiček o průměru 300 mm zvládne více než 500 destiček za hodinu (WPH), čímž efektivně splňuje požadavky velkovýroby.

Technické vlastnosti: Více nezávisle vyvinutých inovativních designů

Inovativní proces s kyselinou fosforečnou za vysokých teplot: Jeho základní proces využívá kyselinu fosforečnou za vysokých teplot pro leptání a odstraňování nánosů z destiček. Přesná regulace nástřiku a teploty účinně snižuje rozptyl procesu a míru vad, což výrazně zlepšuje výtěžnost 2nm čipů.

**Nezávisle vyvinutý vysokoteplotní upínač:** Tato technologie zlepšuje rovnoměrnost teploty během ohřevu destiček, výrazně snižuje procesní vady a překonává omezení tradičních metod mokrého čištění.

**Komplexní kontrola kontaminace:** Komora NIC (Non-Interaction Clean) účinně zabraňuje křížové kontaminaci v kombinaci s technologií SF-Aerosol (vysokorychlostní/jednotné kapky) pro fyzické čištění.

**Vysoce integrovaný inteligentní systém:** Je vybaven systémy APAC, AIS (automatický detekční systém) a SEAS (inteligentní systém analýzy zařízení), díky čemuž dosahuje přesného řízení toku a inteligentní analýzy stavu zařízení.

**Oblasti použití:** Působíme ve společnosti Samsung a sloužíme předním globálním klientům.

Společnost BLUEICE PRIME se primárně zaměřuje na přední světové slévárny logických čipů a výrobce pamětí. Využívá status své mateřské společnosti SEMES jako dceřiné společnosti skupiny Samsung a toto zařízení je hluboce integrováno do nejmodernějších výrobních linek společnosti Samsung na výrobu waferů. Jeho řešení pro mokré čištění tvoří kompletní ekosystém s dalšími klíčovými zařízeními, jako je litografie (řada OMEGA) a leptání (řada MICHELAN). Za zmínku stojí, že společnost SEMES rozšířila své obchodní aktivity na celou oblast výroby HBM (High Bandwidth Memory) a úspěšně vyvinula a sériově vyrábí stroj na tepelné spojování (TC Bonder) pro stohování čipů HBM.

Stručně řečeno, BLUEICE PRIME demonstruje hlubokou technologickou sílu společnosti SEMES v oblasti polovodičových zařízení. Je klíčovou součástí úsilí skupiny Samsung o upevnění její pozice globálního lídra v oblasti pokročilých procesních technologií a klíčového nástroje podporujícího špičkovou výrobu pod 2nm.