SEMES BLUEICE PRIME ha'e peteî sistema de limpieza de oblea única 300mm totalmente automatizada ojejapóva tecnología avanzada proceso (LPT) lógica ha chip memoria fabricación-pe guarã. Omoheñói ha ofabrikáva SEMES, proveedor de equipos núcleo Samsung Electronics poguýpe, ha'e peteî pieza clave equipo omohenda porã haguã rendimiento producción masiva umi proceso de punta ha'eháicha 2nm.
Rendimiento Búcleo: Ojeequilibrávo umi Proceso ha Capacidad Avanzada
Rendimiento Proceso Superior: Ikatu oipe a partícula nivel 19nm-pe, tuicha omoporãve uniformidad grabado 40% ári.
Diseño de Capacidad de Alta Eficiencia: Sistema de limpieza de oblea única 300mm ramo, omaneha 500 oblea por hora (WPH) ári, ombohovái efectivamente umi mba'e ojejeruréva producción masiva tuicha escala-pe.
Características Técnicas: Heta Diseño Innovador oñembosako’íva ijehegui
Proceso pyahu Ácido Fosfórico Alta Temperatura rehegua: Iproceso núcleo oipuru ácido fosfórico temperatura yvate rehegua ojejapo hagua grabado ha despegue oblea rehegua. Control preciso rociado ha temperatura omboguejy efectivamente dispersión proceso ha tasa defecto, tuicha omohenda porã rendimiento astilla 2nm.
**Chuck de Alta Temperatura Desarrollada Independientemente:** Ko tecnología omoporãve temperatura uniformidad oñemboyku jave oblea, tuicha omboguejy defecto proceso rehegua, ha osupera umi limitación umi método tradicional de limpieza húmeda rehegua.
**Control Integral de Contaminación:** Cámara NIC (No Interacción Clean) ohapejoko porã contaminación cruzada, oñembojoajúva tecnología SF-Aerosol (gota de alta velocidad/uniforme) rehe oñemopotî haguã físicamente.
**Sistema Inteligente Altamente Integrado:** Ojeguereko APAC, AIS (Sistema de Detección Automático), ha SEAS (Sistema de Análisis de Equipos Inteligentes), ohupyty control de flujo preciso ha análisis inteligente estado de equipo rehegua.
**Áreas de Aplicación:** Oñemopyendáva Samsung-pe, oservíva cliente global máximo-pe.
BLUEICE PRIME ojepytaso tenonderãite umi fundición chip lógica global yvategua ha umi fabricante memoria rehegua. Oaprovecháva empresa matriz SEMES orekóva filial Grupo Samsung, ko equipo oime pypuku integrado umi línea de producción fab oblea Samsung oñemotenondevéva. Isolución de limpieza húmeda omoheñói ecosistema completo ambue equipo front-end núcleo ndive ha'eháicha litografía (serie OMEGA) ha grabado (serie MICHELAN). Iporã ojehechakuaa SEMES ombotuichave hague hembiaporã opaite HBM (High Bandwidth Memory) rembiaporãme, omoheñói porã ha ojapo hetaiterei peteĩ máquina de enlace térmico (TC Bonder) apilamiento chip HBM-pe g̃uarã.
Oñembojoapývo, BLUEICE PRIME ohechauka SEMES mbarete tecnológico ipypukúva ámbito equipo semiconductor-pe. Ha'e peteî parte crucial oñeha'ãva Samsung Group osolidarisávo posición orekóva líder global tecnologías proceso avanzado ha tembiporu clave oipytyvõva fabricación de punta 2nm guýpe

