Καθαριστικό γκοφρετών SEMES BLUEICE PRIME

Το BLUEICE PRIME της SEMES είναι ένα πλήρως αυτοματοποιημένο σύστημα καθαρισμού μονής πλακέτας 300 mm, σχεδιασμένο για την κατασκευή λογικής και τσιπ μνήμης προηγμένης τεχνολογίας διεργασιών (LPT). Αναπτύχθηκε και κατασκευάστηκε από την SEMES, βασικό προμηθευτή εξοπλισμού της Samsung Electronics, και αποτελεί βασικό εξοπλισμό για τη βελτίωση των αποδόσεων μαζικής παραγωγής πρωτοποριακών διεργασιών, όπως τα 2nm.

Βασική Απόδοση: Εξισορρόπηση Προηγμένων Διαδικασιών και Χωρητικότητας

Ανώτερη απόδοση διεργασίας: Ικανό να αφαιρέσει σωματίδια σε επίπεδο 19nm, βελτιώνοντας σημαντικά την ομοιομορφία χάραξης κατά πάνω από 40%.

Σχεδιασμός υψηλής απόδοσης χωρητικότητας: Ως σύστημα καθαρισμού μονής πλάκας 300 mm, χειρίζεται πάνω από 500 πλακίδια ανά ώρα (WPH), καλύπτοντας αποτελεσματικά τις απαιτήσεις της μαζικής παραγωγής μεγάλης κλίμακας.

Τεχνικά χαρακτηριστικά: Πολλαπλά ανεξάρτητα αναπτυγμένα καινοτόμα σχέδια

Καινοτόμος Διαδικασία Φωσφορικού Οξέος Υψηλής Θερμοκρασίας: Η βασική της διαδικασία χρησιμοποιεί φωσφορικό οξύ υψηλής θερμοκρασίας για χάραξη και απογύμνωση πλακιδίων. Ο ακριβής έλεγχος του ψεκασμού και της θερμοκρασίας μειώνει αποτελεσματικά τη διασπορά της διαδικασίας και τα ποσοστά ελαττωμάτων, βελτιώνοντας σημαντικά τις αποδόσεις τσιπ 2nm.

**Ανεξάρτητα αναπτυγμένο τσοκ υψηλής θερμοκρασίας:** Αυτή η τεχνολογία βελτιώνει την ομοιομορφία της θερμοκρασίας κατά τη θέρμανση των πλακιδίων, μειώνει σημαντικά τα ελαττώματα της διεργασίας και ξεπερνά τους περιορισμούς των παραδοσιακών μεθόδων υγρού καθαρισμού.

**Πλήρης έλεγχος μόλυνσης:** Ο θάλαμος NIC (καθαρισμός χωρίς αλληλεπίδραση) αποτρέπει αποτελεσματικά τη διασταυρούμενη μόλυνση, σε συνδυασμό με την τεχνολογία SF-Aerosol (υψηλής ταχύτητας/ομοιόμορφων σταγονιδίων) για φυσικό καθαρισμό.

**Εξαιρετικά Ολοκληρωμένο Ευφυές Σύστημα:** Εξοπλισμένο με APAC, AIS (Σύστημα Αυτόματης Ανίχνευσης) και SEAS (Σύστημα Έξυπνης Ανάλυσης Εξοπλισμού), επιτυγχάνει ακριβή έλεγχο ροής και έξυπνη ανάλυση της κατάστασης του εξοπλισμού.

**Περιοχές εφαρμογής:** Με έδρα τη Samsung, εξυπηρετώντας κορυφαίους πελάτες παγκοσμίως.

Η BLUEICE PRIME στοχεύει κυρίως σε κορυφαία παγκόσμια χυτήρια logic chip και κατασκευαστές μνημών. Αξιοποιώντας την ιδιότητα της μητρικής της εταιρείας SEMES ως θυγατρικής του ομίλου Samsung, αυτός ο εξοπλισμός είναι βαθιά ενσωματωμένος στις πιο προηγμένες γραμμές παραγωγής wafer fab της Samsung. Η λύση υγρού καθαρισμού που προσφέρει αποτελεί ένα ολοκληρωμένο οικοσύστημα με άλλο βασικό εξοπλισμό front-end, όπως η λιθογραφία (σειρά OMEGA) και η χάραξη (σειρά MICHELAN). Αξίζει να σημειωθεί ότι η SEMES έχει επεκτείνει το επιχειρηματικό της πεδίο σε ολόκληρο τον τομέα κατασκευής HBM (High Bandwidth Memory), αναπτύσσοντας και παράγοντας μαζικά με επιτυχία μια μηχανή θερμικής συγκόλλησης (TC Bonder) για στοίβαξη chip HBM.

Συνοψίζοντας, το BLUEICE PRIME καταδεικνύει τη βαθιά τεχνολογική ισχύ της SEMES στον τομέα του εξοπλισμού ημιαγωγών. Αποτελεί κρίσιμο μέρος των προσπαθειών του Ομίλου Samsung να εδραιώσει τη θέση του ως παγκόσμιου ηγέτη στις προηγμένες τεχνολογίες διεργασιών και ένα βασικό εργαλείο που υποστηρίζει την πρωτοποριακή κατασκευή κάτω των 2nm.