Is córas glantacháin aon-shliseáin lán-uathoibrithe 300mm é BLUEICE PRIME SEMES atá deartha le haghaidh monarú loighic agus sceallóga cuimhne ardteicneolaíochta (LPT). Forbartha agus monaraithe ag SEMES, soláthraí trealaimh lárnach faoi Samsung Electronics, is píosa trealaimh ríthábhachtach é chun feabhas a chur ar thorthaí olltáirgeachta próiseas ceannródaíoch amhail 2nm.
Feidhmíocht Chroí: Cothromaíocht idir Próisis Ardleibhéil agus Cumas
Feidhmíocht Próisis Sármhaith: In ann cáithníní a bhaint ag an leibhéal 19nm, rud a fheabhsaíonn aonfhoirmeacht an ghreantála go suntasach faoi bhreis is 40%.
Dearadh Cumais Ard-Éifeachtúlachta: Mar chóras glantacháin vaiféir aonair 300mm, láimhseálann sé breis is 500 vaiféir san uair (WPH), ag freastal go héifeachtach ar riachtanais olltáirgeachta ar scála mór.
Gnéithe Teicniúla: Il-Dhearaí Nuálacha Forbraithe go Neamhspleách
Próiseas Nuálach Aigéad Fosfarach Ardteochta: Úsáideann a phríomhphróiseas aigéad fosfarach ardteochta le haghaidh greanadh agus stialladh vaiféir. Laghdaíonn rialú beacht ar spraeáil agus teocht scaipeadh an phróisis agus rátaí lochtanna go héifeachtach, rud a fheabhsaíonn toradh sliseanna 2nm go suntasach.
**Chuck Ardteochta Forbartha Neamhspleácha:** Feabhsaíonn an teicneolaíocht seo aonfhoirmeacht teochta le linn téimh vaiféir, laghdaíonn sí lochtanna próisis go suntasach, agus sáraíonn sí teorainneacha na modhanna traidisiúnta glantacháin fhliucha.
**Rialú Cuimsitheach ar Éilliú:** Cuireann an seomra NIC (Glanadh Neamh-Idirghníomhaíochta) cosc éifeachtach ar thras-éilliú, in éineacht le teicneolaíocht SF-Aerosol (braoiníní ardluais/aonfhoirmeacha) le haghaidh glanadh fisiceach.
**Córas Chliste Ard-Chomhtháite:** Feistithe le APAC, AIS (Córas Braite Uathoibríoch), agus SEAS (Córas Anailíse Trealamh Cliste), baintear rialú sreafa beacht agus anailís chliste ar stádas trealaimh amach leis.
**Réimsí Feidhme:** Bunaithe ag Samsung, ag freastal ar chliaint mhóra domhanda.
Díríonn BLUEICE PRIME go príomha ar na teilgcheártaí sliseanna loighce agus monaróirí cuimhne is fearr ar fud an domhain. Ag baint leasa as stádas a mháthairchuideachta SEMES mar fhochuideachta de chuid Samsung Group, tá an trealamh seo comhtháite go domhain i línte táirgthe monarchan vaiféir is úire Samsung. Cruthaíonn a réiteach glantacháin fhliuch éiceachóras iomlán le trealamh tosaigh lárnach eile amhail litagrafaíocht (sraith OMEGA) agus greanadh (sraith MICHELAN). Is fiú a thabhairt faoi deara gur leathnaigh SEMES a raon feidhme gnó chuig réimse iomlán déantúsaíochta HBM (Cuimhne Bandaleithid Ard), ag forbairt agus ag táirgeadh meaisín nasctha teirmeach (TC Bonder) go rathúil le haghaidh cruachta sliseanna HBM.
Mar achoimre, léiríonn BLUEICE PRIME neart teicneolaíoch domhain SEMES i réimse an trealaimh leathsheoltóra. Is cuid ríthábhachtach é d’iarrachtaí Samsung Group chun a seasamh mar cheannaire domhanda i dteicneolaíochtaí próisis chun cinn a dhaingniú agus uirlis ríthábhachtach a thacaíonn le déantúsaíocht cheannródaíoch faoi bhun 2nm.

