SEMES vahvlipuhastusvahend BLUEICE PRIME

SEMESi BLUEICE PRIME on 300 mm täisautomaatne ühe vahvli puhastussüsteem, mis on loodud täiustatud protsessitehnoloogia (LPT) loogika ja mälukiipide tootmiseks. Selle on välja töötanud ja tootnud SEMES, Samsung Electronicsi põhiseadmete tarnija, ning see on võtmeseade tipptasemel protsesside, näiteks 2nm, masstootmise saagikuse parandamiseks.

Põhijõudlus: täiustatud protsesside ja võimsuse tasakaalustamine

Suurepärane protsessi jõudlus: suudab eemaldada osakesi 19 nm tasemel, parandades söövituse ühtlust märkimisväärselt, üle 40%.

Suure efektiivsusega mahutavusdisain: 300 mm ühe vahvli puhastussüsteemina töötleb see üle 500 vahvli tunnis (WPH), rahuldades tõhusalt suuremahulise masstootmise nõudmisi.

Tehnilised omadused: mitu iseseisvalt väljatöötatud uuenduslikku disaini

Innovatiivne kõrgtemperatuuriline fosforhappe protsess: selle põhiprotsessis kasutatakse kiipide söövitamiseks ja koorimiseks kõrgtemperatuurset fosforhapet. Pihustamise ja temperatuuri täpne kontroll vähendab tõhusalt protsessi hajumist ja defektide määra, parandades oluliselt 2nm kiibi saagikust.

**Sõltumatult väljatöötatud kõrgtemperatuuriline padrun:** See tehnoloogia parandab temperatuuri ühtlust vahvli kuumutamisel, vähendab oluliselt protsessidefekte ja ületab traditsiooniliste märgpuhastusmeetodite piirangud.

**Põhjalik saastumise kontroll:** NIC (Non-Interaction Clean) kamber hoiab tõhusalt ära ristsaastumise ning SF-Aerosol (kiire/ühtlase tilga) tehnoloogia tagab füüsilise puhastuse.

**Kõrgelt integreeritud intelligentne süsteem:** Varustatud APAC-i, AIS-i (automaatse tuvastussüsteemi) ja SEAS-iga (nutika seadmete analüüsisüsteemiga), saavutab see täpse vooluhulga juhtimise ja seadmete oleku intelligentse analüüsi.

**Rakendusvaldkonnad:** Asub Samsungis, teenindades ülemaailmseid tippkliente.

BLUEICE PRIME on suunatud peamiselt maailma juhtivatele loogikakiipide valukodadele ja mälutootjatele. Kasutades ära oma emaettevõtte SEMES staatust Samsungi kontserni tütarettevõttena, on see seade sügavalt integreeritud Samsungi kõige kaasaegsematesse kiipide tootmisliinidesse. Selle märgpuhastuslahendus moodustab tervikliku ökosüsteemi teiste oluliste esiotsa seadmetega, nagu litograafia (OMEGA seeria) ja söövitus (MICHELAN seeria). Tasub märkida, et SEMES on laiendanud oma äritegevust kogu HBM-i (kõrge ribalaiusega mälu) tootmise valdkonnale, arendades ja masstootes edukalt termilise liimimise masinat (TC Bonder) HBM-kiipide virnastamiseks.

Kokkuvõttes näitab BLUEICE PRIME SEMESi sügavat tehnoloogilist tugevust pooljuhtseadmete valdkonnas. See on Samsungi kontserni püüdluste oluline osa kindlustada oma positsiooni ülemaailmse liidrina täiustatud protsessitehnoloogiate valdkonnas ja võtmetööriist, mis toetab tipptasemel tootmist alla 2 nm.