SEMES vafeļu tīrītājs BLUEICE PRIME

SEMES BLUEICE PRIME ir 300 mm pilnībā automatizēta vienas plāksnes tīrīšanas sistēma, kas paredzēta progresīvu procesu tehnoloģiju (LPT) loģikas un atmiņas mikroshēmu ražošanai. To izstrādājis un ražojis SEMES, Samsung Electronics pamatiekārtu piegādātājs, un tā ir galvenā iekārta, lai uzlabotu masveida ražošanas ražību progresīvos procesos, piemēram, 2 nm tehnikā.

Pamata veiktspēja: Uzlabotu procesu un jaudas līdzsvarošana

Izcila procesa veiktspēja: spēj noņemt daļiņas 19 nm līmenī, ievērojami uzlabojot kodināšanas vienmērīgumu par vairāk nekā 40%.

Augstas efektivitātes jaudas dizains: Kā 300 mm vienas vafeles tīrīšanas sistēma tā apstrādā vairāk nekā 500 vafeles stundā (WPH), efektīvi apmierinot liela mēroga masveida ražošanas prasības.

Tehniskās īpašības: Vairāki neatkarīgi izstrādāti inovatīvi dizaini

Inovatīvs augstas temperatūras fosforskābes process: tā pamatprocesā vafeļu kodināšanai un noņemšanai tiek izmantota augstas temperatūras fosforskābe. Precīza izsmidzināšanas un temperatūras kontrole efektīvi samazina procesa dispersiju un defektu līmeni, ievērojami uzlabojot 2 nm mikroshēmu ražību.

**Neatkarīgi izstrādāta augstas temperatūras patrona:** Šī tehnoloģija uzlabo temperatūras vienmērīgumu plākšņu karsēšanas laikā, ievērojami samazina procesa defektus un pārvar tradicionālo mitrās tīrīšanas metožu ierobežojumus.

**Visaptveroša piesārņojuma kontrole:** NIC (bez mijiedarbības tīrīšanas) kamera efektīvi novērš savstarpēju piesārņojumu apvienojumā ar SF-Aerosol (ātrgaitas/vienmērīgu pilienu) tehnoloģiju fiziskai tīrīšanai.

**Augsti integrēta intelektuālā sistēma:** Aprīkota ar APAC, AIS (automātiskās noteikšanas sistēmu) un SEAS (viedās iekārtu analīzes sistēmu), tā nodrošina precīzu plūsmas kontroli un intelektuālu iekārtu stāvokļa analīzi.

**Pielietojuma jomas:** Strādā Samsung uzņēmumā, apkalpojot vadošos klientus visā pasaulē.

BLUEICE PRIME galvenokārt ir paredzēts vadošajām pasaules loģisko mikroshēmu lietuvēm un atmiņas ražotājiem. Izmantojot sava mātesuzņēmuma SEMES statusu kā Samsung Group meitasuzņēmuma, šī iekārta ir dziļi integrēta Samsung vismodernākajās vafeļu ražošanas līnijās. Tās mitrās tīrīšanas risinājums veido pilnīgu ekosistēmu ar citām galvenajām priekšējās daļas iekārtām, piemēram, litogrāfiju (OMEGA sērija) un kodināšanu (MICHELAN sērija). Jāatzīmē, ka SEMES ir paplašinājis savu darbības jomu, aptverot visu HBM (augstas joslas platuma atmiņas) ražošanas jomu, veiksmīgi izstrādājot un masveidā ražojot termiskās savienošanas iekārtu (TC Bonder) HBM mikroshēmu sakraušanai.

Rezumējot, BLUEICE PRIME demonstrē SEMES ievērojamo tehnoloģisko spēku pusvadītāju iekārtu jomā. Tā ir būtiska Samsung Group centienu sastāvdaļa nostiprināt savu pozīciju kā globālam līderim progresīvu procesu tehnoloģiju jomā un galvenais instruments, kas atbalsta modernu ražošanu zem 2 nm.