Մեքենայի ինքնությունըԼրիվ անվանումը, սերիական համարը, արտադրության տարեթիվը, անվանական ցուցանակը և շահագործման պատմությունը։
Տեղադրման գլուխներՏեղադրված են CP20 գլխիկներ, գլխիկների պիտակներ, աշխատանքային ժամեր, ծայրակալների միջերեսներ և հասանելի կարգաբերման տեղեկատվություն։
Ճշգրտության դաս20 µմ, 15 µմ կամ 10 µմ կոնֆիգուրացիա և համապատասխան որակավորված աշխատանքային տարածք։
Վաֆլի սարքավորումներՎեֆերի փոխանակման բլոկ, աջակցվող վեֆերի շրջանակներ, արտանետիչ, բուֆեր, շրջման բլոկ և վեֆերի քարտեզագրման հնարավորություններ։
Փոխակրիչ համակարգՄիաշերտ, կրկնակի շերտ, ձախ կողմով մուտք/դուրս մնացած կամ մասնագիտացված կրիչի և հիմքի կարգավորումներ։
Գործընթացային մոդուլներԳծային ընկղմման սարք, բաղադրիչների զգայունակություն, մատրիցայի ստուգում, տախտակի վրա ստուգում և հետագծելիության տարբերակներ։
Ծրագրային ապահովում և ինտերֆեյսներՏեղադրված ծրագրային տարբերակը, լիցենզիաները, SECS/GEM, CFX, HERMES և արտադրական տվյալների ինտեգրումը։
Մատակարարման շրջանակըՍնուցող սարքեր, ծորակներ, վաֆլիի պարագաներ, փաստաթղթեր, պահեստամասեր, փորձարկման տեղեկատվություն և արտահանման փաթեթավորում։