Hunaniaeth peiriantDynodiad llawn, rhif cyfresol, blwyddyn weithgynhyrchu, plât enw a hanes gweithredu.
Pennau lleoliPennau CP20 wedi'u gosod, labeli pen, oriau gweithredu, rhyngwynebau ffroenell a gwybodaeth calibradu sydd ar gael.
Dosbarth cywirdebFfurfweddiad 20 µm, 15 µm neu 10 µm a'r ardal waith gymwys gyfatebol.
Offer wafferUned cyfnewid wafer, fframiau wafer â chymorth, alldafliad, byffer, uned fflipio a gallu map wafer.
System gludoTrefniadau cludwr a swbstrad un lôn, deuol lôn, chwith i mewn/chwith allan neu arbenigol.
Modiwlau prosesUned trochi llinol, synhwyro cydrannau, archwilio marw, archwilio ar y bwrdd ac opsiynau olrhain.
Meddalwedd a rhyngwynebauFersiwn meddalwedd wedi'i osod, trwyddedau, SECS/GEM, CFX, HERMES ac integreiddio data cynhyrchu.
Cwmpas y cyflenwadPorthwyr, ffroenellau, ategolion wafer, dogfennaeth, rhannau sbâr, gwybodaeth prawf a phacio allforio.