Utambulisho wa mashineUteuzi kamili, nambari ya mfululizo, mwaka wa utengenezaji, bamba la majina na historia ya uendeshaji.
Vichwa vya uwekajiVichwa vya CP20 vilivyosakinishwa, lebo za vichwa, saa za kufanya kazi, violesura vya pua na taarifa za urekebishaji zinazopatikana.
Darasa la usahihiUsanidi wa 20 µm, 15 µm au 10 µm na eneo linalofaa la kufanyia kazi.
Vifaa vya kafeKitengo cha kubadilishana wafer, fremu za wafer zinazoungwa mkono, ejector, bafa, kitengo cha kugeuza na uwezo wa ramani ya wafer.
Mfumo wa usafirishajiMpangilio wa njia moja, njia mbili, kushoto-ndani/kushoto-nje au mpangilio maalum wa kubeba na sehemu ndogo.
Moduli za michakatoKifaa cha kuzamisha kwa mstari, kuhisi vipengele, ukaguzi wa die, ukaguzi wa ndani ya chombo na chaguzi za ufuatiliaji.
Programu na violesuraToleo la programu lililosakinishwa, leseni, SECS/GEM, CFX, HERMES na ujumuishaji wa data ya uzalishaji.
Upeo wa usambazajiVilisha, nozeli, vifaa vya wafer, nyaraka, vipuri, taarifa za majaribio na ufungashaji wa usafirishaji.