ಯಂತ್ರ ಗುರುತುಪೂರ್ಣ ಹುದ್ದೆ, ಸರಣಿ ಸಂಖ್ಯೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ವರ್ಷ, ನಾಮಫಲಕ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಇತಿಹಾಸ.
ಪ್ಲೇಸ್ಮೆಂಟ್ ಹೆಡ್ಗಳುಸ್ಥಾಪಿಸಲಾದ CP20 ಹೆಡ್ಗಳು, ಹೆಡ್ ಲೇಬಲ್ಗಳು, ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯ, ನಳಿಕೆಯ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ಗಳು ಮತ್ತು ಲಭ್ಯವಿರುವ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಮಾಹಿತಿ.
ನಿಖರತೆ ವರ್ಗ20 µm, 15 µm ಅಥವಾ 10 µm ಸಂರಚನೆ ಮತ್ತು ಅನುಗುಣವಾದ ಅರ್ಹ ಕೆಲಸದ ಪ್ರದೇಶ.
ವೇಫರ್ ಉಪಕರಣಗಳುವೇಫರ್ ಎಕ್ಸ್ಚೇಂಜ್ ಯೂನಿಟ್, ಬೆಂಬಲಿತ ವೇಫರ್ ಫ್ರೇಮ್ಗಳು, ಎಜೆಕ್ಟರ್, ಬಫರ್, ಫ್ಲಿಪ್ ಯೂನಿಟ್ ಮತ್ತು ವೇಫರ್-ಮ್ಯಾಪ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ.
ಕನ್ವೇಯರ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಏಕ-ಪಥ, ದ್ವಿ-ಪಥ, ಎಡ-ಇನ್/ಎಡ-ಹೊರಗೆ ಅಥವಾ ವಿಶೇಷ ವಾಹಕ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು.
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ಗಳುಲೀನಿಯರ್ ಡಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಯೂನಿಟ್, ಕಾಂಪೊನೆಂಟ್ ಸೆನ್ಸಿಂಗ್, ಡೈ ಇನ್ಸ್ಪೆಕ್ಷನ್, ಆನ್-ಬೋರ್ಡ್ ಇನ್ಸ್ಪೆಕ್ಷನ್ ಮತ್ತು ಟ್ರೇಸೆಬಿಲಿಟಿ ಆಯ್ಕೆಗಳು.
ಸಾಫ್ಟ್ವೇರ್ ಮತ್ತು ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ಗಳುಸ್ಥಾಪಿಸಲಾದ ಸಾಫ್ಟ್ವೇರ್ ಆವೃತ್ತಿ, ಪರವಾನಗಿಗಳು, SECS/GEM, CFX, HERMES ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ-ದತ್ತಾಂಶ ಏಕೀಕರಣ.
ಪೂರೈಕೆ ವ್ಯಾಪ್ತಿಫೀಡರ್ಗಳು, ನಳಿಕೆಗಳು, ವೇಫರ್ ಪರಿಕರಗಳು, ದಸ್ತಾವೇಜೀಕರಣ, ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು, ಪರೀಕ್ಷಾ ಮಾಹಿತಿ ಮತ್ತು ರಫ್ತು ಪ್ಯಾಕಿಂಗ್.